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[求助] 求助电弧源制备Ta2O5薄膜的工艺参数（直流阴极电弧源）

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发表于 2012-6-5 17:46:23 | 显示全部楼层 |阅读模式
求助电弧源制备Ta2O5薄膜的工艺参数（直流阴极电弧源）
5 V' Q% D. b& ^8 w% Z0 K! w7 W" L  Q以及电弧源下Ta的最小工作电流
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