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光学薄膜论坛» › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › 以硅片做衬底镀二氧化硅，对硅片有什么要求？
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查看: 778|回复: 1

[求助] 以硅片做衬底镀二氧化硅，对硅片有什么要求？

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发表于 2012-5-24 12:14:02 | 显示全部楼层 |阅读模式
硅片要是是P型还是N型的？
. ]. L7 _; e7 ~晶向是（100），（110）还是（111）？
; p0 T$ Q$ d4 c3 t为什么有这样的要求？谢谢。
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发表于 2012-5-24 18:04:32 | 显示全部楼层
不需要这么多要求吧
& V4 i% [9 r) n8 ?" k我们用一般的单晶硅就可以了
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