深紫外激光对GaN薄膜的激光抛光研究

gds

题名：深紫外激光对GaN薄膜的激光抛光研究  作者：陈赛华 戴玉堂 肖翔 丁莉云出处：《激光技术》 CA CSCD 2012年第1期基金：国家自然科学基金资助项目(50775169;50802069）摘要：为了研究157nm深紫外激光的激光抛光加工特性，采用小光斑对GaN半导体薄膜进行了微平面扫描刻蚀。通过探讨激光工艺参量与激光抛光质量的影响关系，得到了最佳的工艺参量范围。结果表明，...
9 U$ S# U6 a: ?1 C  ~1 Z& L