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首先,蒸发镀膜是什么?大家交流交流,下面是转载的一些技术论坛的说法。供参考
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i+ v' ?- T% O; R蒸发镀膜应该说是比较成熟的镀膜工艺,当然对于铝膜来说应该没有什么太多的技术性问题,因为已经有多年的历史,最初使用比较多的是蒸发镀膜。当然根据加热方法的不同又有不同的方法,实用的是(塑料薄膜)电阻加热。至于其它镀膜则是需求不同有所区别。
2 V$ ?) A2 i) R+ M中频镀膜发展较晚,但它的优点也显而易见,主要是其镀膜速度较快,而且相对于蒸发镀膜有更好的可控性,同时能够镀绝缘膜,很容易实现反应镀。当然也有其缺点,最主要的是控制性和膜质的问题。" i( X+ u9 b4 T$ B) B8 y1 \" l
很多人认为溅射就是低蒸发率,但经我们这几年来的经验,其实中频溅射的蒸发率相当的高,并且有很好的结合力,目前很热门的手机按键是朝这各方向发展,镀膜後不用再喷涂透明保护漆,耐摩耗颜色多样选择,要达到这种量产工艺,当然设备上需要有更多的配置,包括清洗.置换.结合力.颜色的稳定度.温升的控制等都需要友好的控制手段。9 {1 s2 i0 g5 t' s; u8 @+ Z
塑料镀膜最重要的一个环节是前清洗和活化技术,再来是镀膜过程中如何控制温升问题,
$ m n$ J8 \' ?" F: [# D7 N9 U清洗与活化我们用的是双级脉冲电源,产生高离化率的等离子体,等离子体的气体选择与被镀物有关系,换句话说是想除去的是何种物质,而决定加入哪种气体,重点是要把工件表面物质置换出来,使後面沉积薄膜能有效结合,) B! u9 ?# t$ f5 G( d9 A8 p* N* l
真空薄膜是一个多方面专业的工作,跟很都学科关系密切,流体力学 物理现象 化学现象 电学 材料科学 磁场的关系 胜至於跟粒子量学也相关等等,算是一门多方面学科,所以很能吸引我们大家去探讨! }% k& g+ p$ ]; a/ Y9 i A2 A1 K
中频溅射镀膜有它一定的优点,但也有一定的缺点,最终看取舍哪方面对整个过程有效,目前我们的方向还是在量产过程,如何得到稳定重复的一个工艺,并且得到一定范围的膜层,膜层指标定的比较严苛,一般颜色要求LAB值得平方根均值小於2.5的范围,膜厚.耐蚀性能多有很高的要求,有这些要求就必须有很多手段去实现一个好的膜层,
/ `3 v4 R+ p% [6 J8 W镀前处理是很重要的工序,关系薄膜的效果,除了前处理的要求要做到尽善尽美,在真空下镀膜前的活化与清洗对薄膜的结合力,也是很重要的一个工序,我们一般要求镀膜前必须辉光清洗,达到深层清洗 活化 排除真空室的杂气,5 }+ X! \8 r6 c
辉光清洗有很多方法,直流辉光清洗 单级脉冲辉光清洗 高压辉光清洗 RF辉光清洗6 J8 Q1 k8 \2 u$ _0 @3 t
双级脉冲辉光清洗 这些方法分别对各种不同工件起不同的作用,工艺的选择与偏压电源的选择,都是系统应考虑的 |
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