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[原创] 多弧离子镀与磁控溅射,蒸发镀之间的区别

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发表于 2012-3-1 16:04:18 | 显示全部楼层 |阅读模式
多弧离子镀与磁控溅射,蒸发镀之间的区别+ M2 H9 O  ?8 }3 c' B! j2 i
& C1 I$ ^2 k- n
是转载的说法,有不对的地方请担待并指正。' @, Z; L+ `  u+ Y& p: O5 ^; B  t5 P
三者的区别在于工作原理不同" R; [- y, g2 R- W

# f! Q: p1 B8 n6 l蒸发镀:通过蒸发镀加热使膜材蒸发。蒸发镀有电阻加热式、电子束加热式、感应加热式。
7 I! [3 y9 n6 i; ]- W- y
9 z- w( t9 p1 d* s磁控溅射镀:磁控靶是静止电磁场,磁场为曲线形,以磁场改变电子运动方向,是展于高密度的等离子体异常辉光放电。其特点是溅射能量低,基本温度低。, Z# I: M# k6 d9 H% Z) L) f. _

* x( ]# E4 S' x2 S, w) x多弧离子镀:多弧靶是电弧蒸发源,是冷阴极电弧放电型自持自离化的固体蒸发源。其特点是离子能量高,沉积速率高,膜层改密性高,单固性好。
5 ~2 e; k' d+ c9 i' Y; d" n
2 s( ?) z/ W2 L2 ^蒸发镀主要做玻璃和塑胶,俺不懂,毛主席老人家说得好,没有调查就没有发言权.在此说说磁控和多弧6 N' Z5 N0 S8 ~% `
磁控能对多种金属进行溅射,膜厚和颜色比较容易控制,膜层颗粒细能满足良好外观要求.沉积时间较长,膜层耐磨性不如多弧.
$ e. o3 i  ?% R* y( W+ u* ^. S" U多弧的优点就是磁控的缺陷,还有就是对有些靶材镀出来外观效果不理想如金,不锈钢等
( Q: B& q5 A3 n* W4 f/ n7 n2 X不过二者结合起来用的也大有人在.! [1 z2 l+ d$ F

# o- ?" v2 l" f0 H* S塑胶产品CPC或ABS材料表面装饰性镀膜,若要单固性好些就要采用磁控溅射镀;若要表面光亮些就有蒸发镀
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