找回密码
 注册
查看: 703|回复: 0

[原创] 多弧离子镀与磁控溅射,蒸发镀之间的区别

[复制链接]
发表于 2012-3-1 08:04:18 | 显示全部楼层 |阅读模式
多弧离子镀与磁控溅射,蒸发镀之间的区别
0 h) P8 J6 K. v9 i
! r# k  I4 V/ v# D4 z是转载的说法,有不对的地方请担待并指正。
2 G3 y( J6 L# D$ k+ Y- ^三者的区别在于工作原理不同
/ m, d0 F, f' z& l1 P; l
- i7 p/ y8 \! ~, U+ L/ ?" ~蒸发镀:通过蒸发镀加热使膜材蒸发。蒸发镀有电阻加热式、电子束加热式、感应加热式。$ F2 X$ n- }; P8 j/ S, l

, R% h: R$ q7 K, e磁控溅射镀:磁控靶是静止电磁场,磁场为曲线形,以磁场改变电子运动方向,是展于高密度的等离子体异常辉光放电。其特点是溅射能量低,基本温度低。( v6 {$ K5 G+ W( S& D8 R/ q+ ~
8 \0 k9 A% r& M5 ?! z; O
多弧离子镀:多弧靶是电弧蒸发源,是冷阴极电弧放电型自持自离化的固体蒸发源。其特点是离子能量高,沉积速率高,膜层改密性高,单固性好。
! Z% i) C% q9 q: ]* m% @; Z% u+ u3 p6 @0 w' F! R+ g) r4 o- W% e
蒸发镀主要做玻璃和塑胶,俺不懂,毛主席老人家说得好,没有调查就没有发言权.在此说说磁控和多弧8 h# W; u* ^2 Q* l% j+ i1 P- H
磁控能对多种金属进行溅射,膜厚和颜色比较容易控制,膜层颗粒细能满足良好外观要求.沉积时间较长,膜层耐磨性不如多弧.- @4 H  [9 Y. @; ]! n9 K
多弧的优点就是磁控的缺陷,还有就是对有些靶材镀出来外观效果不理想如金,不锈钢等& \7 m; B. ^! [& F0 q# f
不过二者结合起来用的也大有人在.3 \. Y7 f: h1 E3 C9 P

2 ^! e+ ~6 f1 U' `) g& x1 Z塑胶产品CPC或ABS材料表面装饰性镀膜,若要单固性好些就要采用磁控溅射镀;若要表面光亮些就有蒸发镀
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则

Archiver|手机版|小黑屋|光学薄膜论坛

GMT, 2026-1-12 , Processed in 0.024418 second(s), 22 queries .

Powered by Discuz! X3.5 Licensed

© 2001-2025 Discuz! Team.

快速回复 返回顶部 返回列表