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[原创] 多弧离子镀与磁控溅射,蒸发镀之间的区别

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发表于 2012-3-1 08:04:18 | 显示全部楼层 |阅读模式
多弧离子镀与磁控溅射,蒸发镀之间的区别
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是转载的说法,有不对的地方请担待并指正。2 U( d5 B; q+ W- J' k- C8 g, S
三者的区别在于工作原理不同
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蒸发镀:通过蒸发镀加热使膜材蒸发。蒸发镀有电阻加热式、电子束加热式、感应加热式。: @( x( v: S, Q, c) [

- `$ G! w4 m, N- d- w3 G1 {0 L! v+ Q磁控溅射镀:磁控靶是静止电磁场,磁场为曲线形,以磁场改变电子运动方向,是展于高密度的等离子体异常辉光放电。其特点是溅射能量低,基本温度低。( ~2 T  h. M: U8 r* t- l

6 q, v. q! ?* M, @- h3 J多弧离子镀:多弧靶是电弧蒸发源,是冷阴极电弧放电型自持自离化的固体蒸发源。其特点是离子能量高,沉积速率高,膜层改密性高,单固性好。
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! E9 k) h  S+ R- L$ Z蒸发镀主要做玻璃和塑胶,俺不懂,毛主席老人家说得好,没有调查就没有发言权.在此说说磁控和多弧
+ Q0 f3 I% m, G+ W. ~磁控能对多种金属进行溅射,膜厚和颜色比较容易控制,膜层颗粒细能满足良好外观要求.沉积时间较长,膜层耐磨性不如多弧.! x  Q; j& @3 [  m: a( y( \/ b
多弧的优点就是磁控的缺陷,还有就是对有些靶材镀出来外观效果不理想如金,不锈钢等
3 f) O( m  V  ?不过二者结合起来用的也大有人在.
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塑胶产品CPC或ABS材料表面装饰性镀膜,若要单固性好些就要采用磁控溅射镀;若要表面光亮些就有蒸发镀
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