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自从机器的漏水问题修好后,换了新的TI3O5硬壳。坩埚也重新校准后,现又出现了新的问题5 \. N% g& \9 M4 c8 C6 A* J: E
1.TI3O5速率始终上不去,我的机台是水晶控制电子枪功率的,导致功率上升过高跳了,且还是上不去。XTC报警。报警问题是 xtc异常(STOP).更换新的也没有作用。& |3 x& g4 r8 h, u6 i4 N3 P
2.我将真空度调整了,将TI3O5的调整镀膜电流为1.6810-2pa,可是镀了两炉都没问题,第三炉又是上述报警。SIO2没有问题
* B4 c) }/ Z3 X3.镀膜的时候也将光斑调整没有问题。
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! H7 s0 j1 ?7 O$ S+ s$ J' F请问专家们,我的机器到底是哪里出现了问题。
" x9 k2 v T! z1 a7 _这是上一篇问题的求助http://bbs.oecr.com/forum.php?mo ... mp;page=1#pid973412 P3 t) M( ]/ S2 {3 X; a8 q" y
先谢谢专家们无私的解答。 |
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