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昨天由于作业员在操作过程中操作不当,导致真空仓内漏水,待我将其处理之后,开始镀膜。可是在镀TI3O5的时候出问题了,水晶监控时候其速率在1.7-2.3A左右,设置的是5A,改变设置RATE也没有用。由于速率太低导致电子枪电流不断上升,我们的镀膜电流时530MA,电流升到快700的时候就跳掉了,且速率还是也没有随着电子枪电流的上升而上升。9 Q9 _. ~' f1 f2 {
; X+ p' C X. U9 H# p 我又试了SIO2的镀膜一切正常,就是TI3O5出现了问题。下面是我排查的问题点 E9 N: U- H4 p6 r9 ]
1,将电子枪重新保养一遍- S; ]" F! A4 _3 c/ s, L; V6 @
2. 将水晶更换至新的/ u- l3 `9 r3 F5 F
3. 将光斑重新调整(因为电子枪坩埚也卡死了,重新校准一次)3 [ q" d3 _( D$ d
可是问题还是如上解决不了,且经过判定不是以上的问题。可是就是找不到问题点。请各位专家们帮忙看看到底是哪个方面出现了问题。, |$ G" t2 N0 G4 u
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愿意送50个银币作为赠送,虽然不多,也算一份心意。再次谢过
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最佳答案
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想夜的雨 查看完整内容3 q7 {) u6 c, E+ |
把膜料重新换新的吧,由于湿度大,速率上不去 |
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