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2007-3-17 01:23 提问者：孙绪伟 | 悬赏分：30 | 浏览次数：2115次7 x% y. s) Z) r- a; y& G1 |
我是一个初学者$ ^& E2 t% q' E. r5 ?0 m
2007-3-17 01:24 满意回答" T2 {# F0 c, K9 P J
光学薄膜测厚仪 (SpectraThick Series) 的核心技术介绍和原理说明* A$ I9 b4 M) @ `2 J& W
+ ^0 J7 F# v3 S' u1 k SpectraThick series的特点是非接触, 非破坏方式测量，无需样品的前处理，软件支持Windows操作系统等。ST series是使用可视光测量wafer，glass等substrates上形成的氧化膜，氮化膜，Photo-resist等非金属薄膜厚度的仪器。" N; x2 T1 V/ Y7 l$ m
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测量原理如下：在测量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可视光，这时光的一部分在膜的表面反射，另一部分透进薄膜，然后在膜与底层 (wafer或glass)之间的界面反射。这时薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。SpectraThick series就是利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器。8 ^! s+ J' O( J: P
& J' V" j: _ k" B0 C0 o0 Y仪器的光源使用Tungsten Lamp，波长范围是400 nm ~ 800 nm。从ST2000到ST7000使用这种原理，测量面积的直径大小是4μm ~ 40μm (2μm ~ 20μm optional)。ST8000-Map作为K-MAC (株) 最主要的产品之一，有image processs功能，是超越一般薄膜厚度测量仪器极限的新概念上的厚度测量仪器。测量面积的最小直径为0.2μm，远超过一般厚度测量仪器的测量极限 (4μm)。顺次测量数十个点才能得到的厚度地图 (Thickness Map) 也可一次测量得到，使速度和精确度都大大提高。这一技术已经申请专利。
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5 o# y8 A- h0 q8 \( c: T, wK-MAC (株) SpectraThick series的又一优点是一般仪器无法测量的粗糙表面 (例如铁板，铜板) 上形成的薄膜厚度也可以测量。这是称为VisualThick OS的新概念上的测量原理。除测量薄膜厚度外还有测量透射率，玻璃上形成的ITO薄膜的表面电阻，接触角度 (Contact Angle) 等的功能。
B. C) o9 H/ O) g产品说明$ E3 W! b/ ~( V. l5 c+ a
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本仪器是把UV-Vis光照在测量对象上，利用从测量对象中反射出来的光线测量膜的厚度的产品。
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7 e+ Q. r4 J4 w6 I9 U5 w) a这种产品主要用于研究开发或生产导电体薄膜现场，特别在半导体及有关Display工作中作为
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In-Line monitoring 仪器使用。
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5 O7 v" w9 o8 [, R; v, e' I6 L产品特性5 N: U* ~8 m* N9 D# G+ X. J
, ]; X2 l, }& a* U+ K5 V1) 因为是利用光的方式，所以是非接触式，非破坏式，不会影响实验样品。
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7 p: f3 }$ J' k; A; B8 q) P2) 可获得薄膜的厚度和 n,k 数据。
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( o }8 J) a9 U5 I! `- D1 M3) 测量迅速正确，且不必为测量而破坏或加工实验样品。9 G. L, p( c- C# ^( r3 P8 e! U
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4) 可测量 3层以内的多层膜。
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5) 根据用途可自由选择手动型或自动型。
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6) 产品款式多样，而且也可以根据顾客的要求设计产品。+ I8 C; X5 o( p" X4 s
+ k, W5 U: V: B# E4 k; _0 I7)可测量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage size 3“ )+ e# x; B% o& s) |; D+ j ?
( o$ J {# g5 r7 @4 |4 Z; m8)Table Top型, 适用于大学,研究室等8 z6 B# v% i, I7 X7 Y4 K' s
参考资料：http://alco.testmart.cn/ProductFile/Html/CN/2005/2/3/64a1e3d6-07e1-4d8e-88b7-c03ef1554ca4.html
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向TA求助" `9 \$ Z/ i( T' m# h5 i5 v$ b
回答者： 成都龙泉洛带 | 二级
' f( O! C0 Y: }$ ?8 l% r9 j& F擅长领域： 互联网 C/C++ 理工学科7 I0 W3 _4 a4 u2 T! M- y6 ]$ b- r
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c3 i1 _2 K. c& e h/ G, @提问者对于答案的评价：" E" t- e+ W& }: \
谢谢，这给了我很大的帮助，可还是有点不太具体& p* t9 `( J6 d
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发表于 2012-2-17 15:43:51
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