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[转贴] 真空镀膜机技术工艺

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发表于 2011-7-21 10:19:09 | 显示全部楼层 |阅读模式
真空镀膜机技术工艺5 I9 b  w" t# p9 `& n- _
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8 K3 k8 G3 E/ g7 H' n$ [  a' m    真空镀膜机在镀膜过程中还需要回转控制系统,就是将伞具的主轴置于轴承里面,然后再利用电机带动轴承,使伞具回转。然后再PLC控制其回转速度。 " W/ F" I2 y7 ]
    坩埚回转采用电机带动,光电感应计数的方法,遮药板采用气动开关方式转动。
' ]/ X5 l6 C, n) q    为了加快抽气速率,达到一定的真空度,还需要对真空腔进行制冷,就是将真空腔里面的空气冷冻到零下130摄氏度,将真空腔里面的水气冷冻并被泵抽走。
% z% l( ^& Y5 A% u& i1 `     电气控制部分主要采用PLC自动控制,真空镀膜机设备就是先在PLC中输入预先设计好的程序,处理器主电路与操作面板上的各空驶系统相连接,当按下操作面板上的开关的时候,信息传递到中央处理器,再由中央控制系统分析并发出指令由支路执行并完成动作。
: M4 L; t# N9 p     镀膜机是集多门学科的设备,它集成了当今工业最先进的机电技术,控制技术、电气自动化、IT技术、制冷技术,微电路集成系统、高压控制系统、机械技术、加工技术、光电技术、光学技术、气动控制技术、光电传感技术、通讯技术、真空技术、薄膜光学与镀膜技术等等。
; }8 @/ Z. V% ]- s& B; Z     可以说镀膜机是新兴的产业代表。 1 P) ?9 f; V% m5 E/ b
     到今天,镀膜机已经被广泛应用,制镀薄膜尤其广泛,其制作的各种薄膜被应用到各光电系统及光学仪器中,如数码相机、数码摄像机、望远镜、投影机、能量控制、光通讯、显示技术、干涉仪、人造卫星飞弹、半导体激光、微机电系统、信息工业、激光的制作、各种滤光片、照明工业、传感器、建筑玻璃、汽车工业、装饰品、钱币、眼镜片等等,镀膜机器已经与人类的生活紧密联系。
. C( }3 n5 o( c) X! O# N+ x      一台进口镀膜机造价通常达到300~1000万人民币,真空镀膜机厂家国产设备目前的造价也在100万左右,进口设备已经完全自动化,整个生产过程都由计算机自动完成,其先进程度绝对优于世界上任何自动化作业模式,由于国内的真空技术起步较晚,加上技术有限,故到目前为止还采用人工操作模式,有些厂商有借鉴进口设备的运作模式,可以达到半自动化作业模式。( t3 M: J2 B/ n" W6 U! j$ R7 J) O

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