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气相沉积应用技术
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内容简介; m6 y" W" N) q% \2 z
本书在第1篇中全面阐述了化学气相沉积、物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积的技术基础、技术原理、新的沉积技术、工艺过程、设备配套、膜层质量检测和分析。在第2篇中介绍了气相沉积技术在工模具硬质涂层、防护涂层、光学薄膜、建筑镀膜玻璃、太阳能利用、集成电路制造、信息存储、显示器件、饰品装饰、塑料金属化和柔性基材的卷绕薄膜产品等方面的应用。本书内容丰富新颖，力求紧密联系实际。; e5 ]# J% I! T& {6 L, f9 @0 h. z
本书可供从事气相沉积技术的工程技术人员、科技工作者、在校师生和工人阅读，也可以作为相关专业的参考书。
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本书是一部关于气相沉积技术的实用专著，全书分气相沉积技术基础及各种气相沉积技术和气相沉积技术应用领域两大部分详细介绍了相关内容，本书适合从事气相沉积技术的工程技术人员、科技工作者及高校相关专业学生学习。
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发表于 2011-7-17 10:47:14
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发表于 2011-7-17 10:51:06
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