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发表于 2006-8-20 23:08:34
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FilmStar 光學薄膜分析設計軟體
. G( b _: b3 t$ W FilmStar 是一個強大且容易使用的視窗之薄膜設計軟體,它包含了五種模組對於光學薄膜鍍膜的設計、特徵化、量測、監控等有強大的功能,分別為 DESIGN( 設計 )、INDEX(使用者自訂函數)、MEASURE(控制並透過分光光度計獲得資料)、 MONITOR(監控系統)、CRYSTAL(轉換薄膜設計到Inficon IC/4+、IC/5+及Sycon STC-200/SQ 控制器作處理)。
# ^$ R: B0 b9 k8 R' F# N' \
( O% ]9 z8 A) B4 i' C FilmStar應用領域及範圍
# l# @9 F0 s7 R1 i- ]; u8 P! \光學系統元件之抗反射膜 . u) r$ y: h$ N' J
抗紫外線膜 8 M% ^$ u5 s1 ?( r W
亮度衰減膜
" i, ~7 x c* A& k. f8 O. r+ r高反射膜 ' [/ e6 p8 w- I8 ]9 D5 M2 f- |3 d
雙色濾光片
5 g, G" I. h/ B- k3 Z3 h1 B偏極分光片 6 y2 g- @# K: @* r$ K+ Y& m0 ]
偏極延遲片
! n! ?# Q- A' X" y帶通濾光片
% g) N ~: d$ c" C
6 P5 V" p0 Z; j- Z7 Z* D O! q% q ( e: S& o6 c0 ~: B
FilmStar 主要模組介紹
8 h4 h. z5 O1 _; H6 i( H/ C& a
9 N% V1 Y2 ^' J" B2 t" F: | DESIGN ( 設計 )模組 " b; f" C: h. A9 C+ b/ O
薄膜設計 (Thin Film Design)
7 l, g, Y H1 j3 s- i% ^0 ] 其中包含許多的功能及主要特色:
# k e7 i/ I1 u* o; Y 光學 (Optical)、物理(Physical)、大量(massive)層的厚度定義 * ^8 D2 _3 }; v2 O1 k
光學和物理厚度的轉換 & g# @$ a: M9 Z p
群組和層數的轉換
7 R a6 K# B# N1 M% r R 不同質 (inhomogeneous) 層的模擬
$ \; x8 N' E' L4 r4 v1 B 包含了 52 種膜的材料
) o% M! h2 z% Q8 O8 m6 O. `5 ]1 L 反向設計 (reverse design)
: Q& R1 h' K: O: t; ~
! B1 b" y( a5 n( l3 @6 z# h 索引 (Film Indices) " i* }7 c- X- P8 k g" N
提供 常數、色散 (dispersive)查閱表,內建函數包含Buchdahl、 Cauchy、Lorentz、 quadratic、 Sellmeier等等,使用者可增加到20種新的函數到內建的編輯功能中,如FilmStar Workbook、Excel或是其他程式中。 ) H0 s+ w: `4 |5 H; h3 r
基底補償(Substrate Compensation)
9 B0 k6 q0 P) `( u# n 提供 精確的校正基底表面,對於正向及逆向入射光,基底可被視?大量的 (massive)層,在系統中含有多重吸收基底及空氣間隔,這樣允許被計算及最佳化。 $ |" N) }) F5 m! E
計算量(Calculated Quantities)
v+ B9 V3 `' ^: R [%R , %T , O.D , 相位] V.S [波長 , 角度 , 厚度]
+ Q+ A/ A1 u( b% E1 j8 H9 n CIE color ! `0 h1 [( D0 m6 L
橢率測量術(ellipsometry) ' J. W" f& E6 _+ m2 E
Herpin indices 8 l0 ^) b9 Q7 _* q
! ]& y7 d# _" R 最佳化 (Optimization):提供四種優化方式 8 Q3 ~+ y; u9 G! G* a$ n" w
Damped Least Squares - V& H: a( d; ?9 O, `8 l' m
Levenberg-Marquardt
/ B7 t# e! [' J8 X: e# J& o Simplex : ?8 U, U+ R8 z$ r6 ^
NOL Gradient Methods 2 G/ u8 M: B7 T2 p! q
2 m" O$ |/ Z% ~. _+ `3 Z: r 3 q) f* h' g8 k. O& r3 |
INDEX(使用者自訂函數)模組
; D( \- _; z1 s$ I# e: [ 光學膜不僅只是設計,還必須能被特徵化,對成功的薄膜製造而言,推斷色散指數 (dispersive indices) 的能力就非常重要。
( l4 C. G3 b$ |1 k/ p8 r 索引目錄(Index Tables)
) r5 m. x$ J5 K+ V4 ^ S 提供 N, K 目錄,使用者自訂函數能被定義在內建的 FilmStar workbook 或外部的 Windows 程式,如 Excel 或是 Visual Basic 。
# [1 C8 L6 a2 {3 d/ i( i$ x 附加運\算法(Additional algorithms) V3 X; ?" X$ ]; r) h
對於已知厚度的單層薄膜可由 %R及 %T資料計算 N,K : Y0 `5 F2 x. @* p+ H* M
對於輕微吸收的單層薄膜可由 %T 資料計算 N,K
8 w; W1 w) W% d) N 由 %R 及 %T 資料計算 filter glass 基底的 N,K 2 q e; v4 M2 q1 [7 y
0 |+ T. [$ U1 M" }3 d" N% V) _* g: s! c
4 K: o8 V: d9 s& k* a MEASURE (控制並透過分光光度計獲得資料)模組
* n( {$ R5 c* s I' A" l MEASURE 由分光光度計 (Spectrophotometers) 控制及獲得資料,它亦可與 FilmStar 中的 DESIGN 結合。所提供的量測控制,為化學專用軟體的最佳替代選擇。以下的儀器是目前所支援的:所提供的量測控制,為化學專用軟體的最佳替代選擇。以下的儀器是目前所支援的:
+ d( B+ U7 | O, B2 E7 H
6 h' l7 O7 Z+ Z8 B( S; Y' [Perkin-Elmer Lambda 2,5,7,9,19,900 * v+ x0 {* d) D5 v( G
88x,983,983G(FIR models)
# S3 I8 n& A" E7 jSpectrum2000FTIR
3 n4 S7 [6 x9 g% P, J$ f* QHewlett HP8453 Diode-Array ) I) v5 ~! }+ ]( Q+ N8 [
Varian Associates Cary1,3,4,5
# _9 z' G, j5 A0 f5 {Hitachi U-3200/3210,U-3400/3410
9 S' P* s( Y7 @; [$ T
$ G4 {) n2 @, o3 D' G$ P , L2 p0 M( A& n, {7 w! w
MONITOR(監控系統)模組
- j! k! z D2 R6 X& B! O; ] MONITOR使用者能模擬沈積過程(Deposition processes)及決定最理想的方式獲取高?量的生?。
" Z: ]! a! @9 f8 k# t; L
! `& y+ O' f4 T9 j2 M$ D! A% { CRYSTAL模組 $ q$ I# U: g7 f% j; b+ y$ B
CRYSTAL 轉換薄膜設計到 Inficon IC/4+,IC/5+ 及 Sycon STC-200/SQ 控制器作處理,以上概括簡述 FilmStar 的特色及功能,它亦能做容限 (Tolerancing) 分析、產量分析、 … 等等,實為光學設計者的有利幫手。 ! P1 u5 G- k+ `4 B
! A# ]* R5 C. D4 C
FilmStar April.23.2003版本新功能說明 : h3 [; H% O9 D
新的FilmStar資料庫(Database)已經完成了對MS Access的聯結 7 B4 n+ B0 ?4 Z& o
對測試試用版感興趣的使用者可以透過電子郵件與我們聯繫,我們將告知您可供下載的操作說明以及新的安裝密碼,除了MEASURE的Varian Cary模組之外,所有程式皆可執行這個新的資料庫。
( q$ `9 F" \6 r5 T
: ^1 W! w6 K! [) [. f 新版本讓您可登錄為 FilmStar 的管理員 ( Administrator) ! T) }9 d" e2 c6 }
可 限制其他的電腦在執行 FilmStar時,對 程式功能做存取。例如,鍍膜部門裡用於光學監控的電腦,能設定為不允許使用者編輯或儲存薄膜設計。
' ~, Y/ x- n( x/ R- n" v
* S. Z0 k' D# i* I2 M 新版本中的其他功能 : L" U3 c) a+ i4 f
包括波長的單位、兆赫(terahertz)和 Maxwell-Garnett 的 INDEX 模組(感謝 Stephen Sathiaraj 博士協助新模組的執行和驗證),其他 INDEX 模組將在下個月新增。
* w- g5 N9 h T P& H
" U% Y/ j1 p9 m 目前版本仍持續改進部分功能,例如:INDEX的最新版本,讓您可以限制index function相對於所顯示波長範圍的優化(fitting)功能,我們發現在可見光範圍內,可有效消除紫外線(UV)以及紅外線(IR)的資料點而不需要TiO 2 的優化(fit)。有一個包含版本的修正和改進的綜合清單,可以在以下網址找到:http://www.ftgsoftware.com/revisions.htm
, L1 k- o" X7 Q" h$ _ $ l- D* R# c2 T# _7 r# k) t
0 t' T( l/ w/ S& U& I
您知道可以使用標準的Windows檔案對話窗取代FTG式的對話窗嗎?FTG式對話窗的用意在於可允許使用者輸入檔案的描述,但對於長檔名的所有檔案類型,您可以視這些描述為多餘的。Windows檔案對話窗的一個優點為當勾選FILM Archive模式時,可更容易儲存與載入FILM Archive的模組(如 Graph Axes )。 |
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