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发表于 2006-8-21 07:08:34
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FilmStar 光學薄膜分析設計軟體
' A* d# U" w: w$ U% j5 _ FilmStar 是一個強大且容易使用的視窗之薄膜設計軟體，它包含了五種模組對於光學薄膜鍍膜的設計、特徵化、量測、監控等有強大的功能，分別為 DESIGN（ 設計 ）、INDEX（使用者自訂函數）、MEASURE（控制並透過分光光度計獲得資料）、 MONITOR（監控系統）、CRYSTAL（轉換薄膜設計到Inficon IC/4+、IC/5+及Sycon STC-200/SQ 控制器作處理）。 . ~+ K; h2 L, k6 e: K" w& N
3 }, @# x$ u% @4 z0 W9 p FilmStar應用領域及範圍 % E8 a( g2 B! @: @3 U# x
光學系統元件之抗反射膜 7 d( R* h ]$ \) K1 p1 R
抗紫外線膜 3 f: s; e0 H7 o( E2 w9 E9 ?
亮度衰減膜 0 J3 w7 v1 }, n( f
高反射膜
2 Z! P& @* T( O* N Q) O% h- O5 I& ?雙色濾光片
8 `7 W2 l ^( [8 i- N% e. o偏極分光片
/ d1 p( `8 D$ V, `! ]* K" E9 k偏極延遲片 . U' u5 t5 _1 s1 X
帶通濾光片 6 z1 ]% H) H [
0 l8 S$ t; q8 J1 o0 @- n9 r/ [
( O, L/ k) S* b6 ^ FilmStar 主要模組介紹 - [& J+ b) x8 c- ?$ P. b
. P a m; o5 ] DESIGN （ 設計 ）模組
$ x* S7 f) E; A* @- R6 T 薄膜設計 (Thin Film Design) 2 v; g1 P0 P# m1 |; Q( I
其中包含許多的功能及主要特色： & D' S# D% @: {
光學 (Optical)、物理(Physical)、大量(massive)層的厚度定義 , M) p) Q% P4 a' ~: ]
光學和物理厚度的轉換 c. c/ H- E! _' r! o
群組和層數的轉換 9 }0 a* y, p! Y7 n) ^6 E" `/ W7 Z
不同質 (inhomogeneous) 層的模擬
. x/ W a0 A) w! I5 D! z/ F 包含了 52 種膜的材料 ( I8 ^" A' v; w" s9 ^" Q4 w" q1 b
反向設計 (reverse design) / u7 X* z9 P/ _" Y
; q" G. q: c2 Y. s 索引 (Film Indices)
, T2 s& |6 X) w; g 提供 常數、色散 (dispersive)查閱表，內建函數包含Buchdahl、 Cauchy、Lorentz、 quadratic、 Sellmeier等等，使用者可增加到20種新的函數到內建的編輯功能中，如FilmStar Workbook、Excel或是其他程式中。
8 S, e/ O) {( p4 [" e( b: s0 [: _ 基底補償(Substrate Compensation) ( y F, }6 W. K& _
提供 精確的校正基底表面，對於正向及逆向入射光，基底可被視?大量的 (massive)層，在系統中含有多重吸收基底及空氣間隔，這樣允許被計算及最佳化。
' i* F& U: W3 r& x( v2 ] 計算量(Calculated Quantities) . z4 | D& W* _6 E. ?
[%R , %T , O.D , 相位] V.S [波長 , 角度 , 厚度] * E3 c8 `3 x7 K: f1 P
CIE color / N' _4 ^- o4 B( \" Q
橢率測量術(ellipsometry) 4 U/ \' ]7 K1 z# a
Herpin indices $ Q( b) d; v1 j @! o; B. g3 l# _, J
! [9 P7 d4 s3 Y2 G( a
最佳化 (Optimization)：提供四種優化方式
2 A& U U/ n& @) X3 l6 A Damped Least Squares # ~; _2 P! P# o6 P
Levenberg-Marquardt
- P0 C% b% i# A) @+ }6 c. d Simplex
8 y; C# G' d6 |+ O NOL Gradient Methods 9 Q+ q9 w" u. E8 Q) B3 N8 V5 n
5 E2 `' P* k$ E9 ~( J
4 S' K+ o5 Q* }# W* U9 z) n$ x INDEX（使用者自訂函數）模組
$ g9 u6 D0 O; [% I" m- P3 ~ 光學膜不僅只是設計，還必須能被特徵化，對成功的薄膜製造而言，推斷色散指數 (dispersive indices) 的能力就非常重要。
, B7 M. g' X a& @& K4 P 索引目錄(Index Tables) ! L; s; x# s# p
提供 N, K 目錄，使用者自訂函數能被定義在內建的 FilmStar workbook 或外部的 Windows 程式，如 Excel 或是 Visual Basic 。
, Q& E- o2 G5 u5 I# ^* O' G: H! c, Z 附加運\算法(Additional algorithms)
+ S8 r9 c0 Z4 }2 _ 對於已知厚度的單層薄膜可由 %R及 %T資料計算 N,K
5 {; I! j5 u; N+ v/ n 對於輕微吸收的單層薄膜可由 %T 資料計算 N,K
8 _' L- H' Z! A# |; H+ u" B, k) P 由 %R 及 %T 資料計算 filter glass 基底的 N,K
6 s6 v( `' m' Y& `
, ]$ t3 `% G; _, ` + V% |- d3 u8 ]1 t
MEASURE （控制並透過分光光度計獲得資料）模組 " ~% ~: x8 A, t7 H/ u& E6 `
MEASURE 由分光光度計 (Spectrophotometers) 控制及獲得資料，它亦可與 FilmStar 中的 DESIGN 結合。所提供的量測控制，為化學專用軟體的最佳替代選擇。以下的儀器是目前所支援的：所提供的量測控制，為化學專用軟體的最佳替代選擇。以下的儀器是目前所支援的：
% l; {- e ?6 b. N, r1 x4 i/ d: `# C; T& F* v1 A& C5 }
Perkin-Elmer Lambda 2,5,7,9,19,900
3 K& s* T$ ]7 J, J! N6 L88x,983,983G(FIR models)3 D9 O( Y& Q6 U3 J, f, r
Spectrum2000FTIR
$ G8 N$ v9 X/ u- rHewlett HP8453 Diode-Array
6 ^ x. d, q+ [* XVarian Associates Cary1,3,4,5
/ o6 {1 ?3 h4 Z% [+ y; y0 H. DHitachi U-3200/3210,U-3400/3410 # Y! W& E* Z X5 l/ L
* t2 w3 [0 c2 a! b- q8 F+ i; m ! U9 A B7 Y3 x: B" Y
MONITOR（監控系統）模組 # l2 @$ z! Q6 M4 t* N& k: d( R
MONITOR使用者能模擬沈積過程(Deposition processes)及決定最理想的方式獲取高?量的生?。 5 P, _3 W0 ^4 h) X* k
0 p& V2 A% S+ E6 W3 H# Y0 u% E* |
CRYSTAL模組
5 O) y" {: s+ j, Z* Y4 } CRYSTAL 轉換薄膜設計到 Inficon IC/4+,IC/5+ 及 Sycon STC-200/SQ 控制器作處理，以上概括簡述 FilmStar 的特色及功能，它亦能做容限 (Tolerancing) 分析、產量分析、 … 等等，實為光學設計者的有利幫手。 ! x' h- R$ [1 N$ N
9 C9 l! ~1 j* t6 ^$ J- g( P FilmStar April.23.2003版本新功能說明 # p$ x( }( w/ V6 ^9 j- p
新的FilmStar資料庫（Database）已經完成了對MS Access的聯結
6 |8 ?* V) q2 J& `2 U 對測試試用版感興趣的使用者可以透過電子郵件與我們聯繫，我們將告知您可供下載的操作說明以及新的安裝密碼，除了MEASURE的Varian Cary模組之外，所有程式皆可執行這個新的資料庫。 ; W" i- u& i) k9 B
4 v/ d2 e* j: K8 c! \% L 新版本讓您可登錄為 FilmStar 的管理員 （ Administrator）
9 w3 I$ @, F: |% g R/ E 可 限制其他的電腦在執行 FilmStar時，對 程式功能做存取。例如，鍍膜部門裡用於光學監控的電腦，能設定為不允許使用者編輯或儲存薄膜設計。
! \6 u6 `# R" r - m2 `) k# U* x, ]
新版本中的其他功能 3 e# c% d8 \0 Y5 l% k
包括波長的單位、兆赫（terahertz）和 Maxwell-Garnett 的 INDEX 模組（感謝 Stephen Sathiaraj 博士協助新模組的執行和驗證），其他 INDEX 模組將在下個月新增。
; L G* z1 ]% A* B
m2 K( r: C( i- X 目前版本仍持續改進部分功能，例如：INDEX的最新版本，讓您可以限制index function相對於所顯示波長範圍的優化（fitting）功能，我們發現在可見光範圍內，可有效消除紫外線（UV）以及紅外線（IR）的資料點而不需要TiO 2 的優化（fit）。有一個包含版本的修正和改進的綜合清單，可以在以下網址找到：http://www.ftgsoftware.com/revisions.htm & I9 ]# _8 x/ d) G
Q+ I' t- I6 h; ~ Y8 B- n
4 t6 Y1 I! v. G3 F# M) P8 _, [ 您知道可以使用標準的Windows檔案對話窗取代FTG式的對話窗嗎？FTG式對話窗的用意在於可允許使用者輸入檔案的描述，但對於長檔名的所有檔案類型，您可以視這些描述為多餘的。Windows檔案對話窗的一個優點為當勾選FILM Archive模式時，可更容易儲存與載入FILM Archive的模組（如 Graph Axes ）。 |
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