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发表于 2006-8-20 23:08:34
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FilmStar 光學薄膜分析設計軟體 5 q# D! f, E6 S- B' g& d m
FilmStar 是一個強大且容易使用的視窗之薄膜設計軟體,它包含了五種模組對於光學薄膜鍍膜的設計、特徵化、量測、監控等有強大的功能,分別為 DESIGN( 設計 )、INDEX(使用者自訂函數)、MEASURE(控制並透過分光光度計獲得資料)、 MONITOR(監控系統)、CRYSTAL(轉換薄膜設計到Inficon IC/4+、IC/5+及Sycon STC-200/SQ 控制器作處理)。
8 R' W& n. ~$ y" a4 | * T( Q; u- V0 y9 @& Y3 | d
FilmStar應用領域及範圍
: j! }& B- d5 m2 c. M光學系統元件之抗反射膜
5 s/ B5 o- [* w/ M8 N2 |9 l2 C抗紫外線膜
; B2 a! s0 L3 G$ N S. K! L/ r1 C亮度衰減膜 9 f" x( M/ f! {# ~6 {
高反射膜
! G1 ^; b4 W1 U雙色濾光片 . a' J5 x! r" t5 B
偏極分光片
. M, }8 O4 ^- d- f偏極延遲片
! [/ A+ s0 ?: l {* L$ }7 `帶通濾光片 ! f. P j- M, Z, W l
; S- G4 q H1 D( g! l
& M: U- o) P" y5 u n+ {) K# i5 |8 K
FilmStar 主要模組介紹 4 u% t3 v2 {+ K
( [) g$ _- N% \$ R DESIGN ( 設計 )模組
$ S2 l3 g" v6 f: c 薄膜設計 (Thin Film Design)
0 a7 n0 K& D. {" j, v 其中包含許多的功能及主要特色: " Z1 G' N ~; d3 F% Q
光學 (Optical)、物理(Physical)、大量(massive)層的厚度定義 $ S0 M* b0 k8 ]+ A, z' ?; L" F
光學和物理厚度的轉換
2 M: B4 w0 u) ?( k7 s/ t 群組和層數的轉換
! @( V) B+ ]3 Y4 ^! W0 V 不同質 (inhomogeneous) 層的模擬
! b9 u$ g0 _) }( H. \8 Y0 `5 K 包含了 52 種膜的材料
4 K [: u; n" S* A8 b7 [2 P# u 反向設計 (reverse design) ) u& s0 b! z" e5 @
0 U v$ S" x9 b
索引 (Film Indices) ' t0 ?2 l% A5 g! g& `3 N, S- O
提供 常數、色散 (dispersive)查閱表,內建函數包含Buchdahl、 Cauchy、Lorentz、 quadratic、 Sellmeier等等,使用者可增加到20種新的函數到內建的編輯功能中,如FilmStar Workbook、Excel或是其他程式中。
8 B- \% a2 K1 \/ ~ 基底補償(Substrate Compensation)
, @% N5 m, Z* I4 a1 ]7 n& }1 ~ 提供 精確的校正基底表面,對於正向及逆向入射光,基底可被視?大量的 (massive)層,在系統中含有多重吸收基底及空氣間隔,這樣允許被計算及最佳化。 3 F/ g3 Q V2 S, ^
計算量(Calculated Quantities) " \5 i$ ~. Z; \$ S% O7 K
[%R , %T , O.D , 相位] V.S [波長 , 角度 , 厚度] + M0 R$ o$ u& i' o* B% o
CIE color
6 @! a0 F$ c; |# Q9 Z7 M# y 橢率測量術(ellipsometry)
h; }6 f4 I( w; @% o1 @ Herpin indices : p1 \0 y" q7 b+ p; D/ w3 W& P
3 d. C5 |: }( U3 F3 c: r# L
最佳化 (Optimization):提供四種優化方式 # f+ S$ s! j# M; {/ w
Damped Least Squares 9 z" o1 u( c6 r0 L% \7 j. P% g
Levenberg-Marquardt " t L i, j4 y4 d$ M N
Simplex 9 m9 k( G+ x; B$ {" m* }
NOL Gradient Methods
3 o, N% h. o; D1 n8 ^% i * z( n# P9 X6 H
* Y& L* M+ ~; r; k4 J$ { INDEX(使用者自訂函數)模組 " ?) Y; G& I2 b; A8 o& S
光學膜不僅只是設計,還必須能被特徵化,對成功的薄膜製造而言,推斷色散指數 (dispersive indices) 的能力就非常重要。
3 l" }9 g3 l' v# D5 u$ c# h 索引目錄(Index Tables)
9 K% K. u& j6 r: Y, g 提供 N, K 目錄,使用者自訂函數能被定義在內建的 FilmStar workbook 或外部的 Windows 程式,如 Excel 或是 Visual Basic 。
- W+ d! ]+ p( ?3 w 附加運\算法(Additional algorithms) ; k0 V4 |) T* y
對於已知厚度的單層薄膜可由 %R及 %T資料計算 N,K 5 ` }9 Q0 G1 ?( K5 x+ D* [
對於輕微吸收的單層薄膜可由 %T 資料計算 N,K
9 d. Z& A& q9 l0 \6 A6 _0 q 由 %R 及 %T 資料計算 filter glass 基底的 N,K 4 p! |6 q- O2 x( j
) M( S7 H. B* q, F$ i" L& q" K
2 S( X( w7 c5 @9 u# L) Y MEASURE (控制並透過分光光度計獲得資料)模組 , m& A; @! y6 v3 i
MEASURE 由分光光度計 (Spectrophotometers) 控制及獲得資料,它亦可與 FilmStar 中的 DESIGN 結合。所提供的量測控制,為化學專用軟體的最佳替代選擇。以下的儀器是目前所支援的:所提供的量測控制,為化學專用軟體的最佳替代選擇。以下的儀器是目前所支援的: # ?! I* I7 ~8 L9 k5 t
4 b5 o! M9 J, y3 s, e' v
Perkin-Elmer Lambda 2,5,7,9,19,900 % p. N& M( y) t$ E! y _
88x,983,983G(FIR models)4 K+ @. p5 i+ z5 ?
Spectrum2000FTIR
& K' {7 Z6 }# F$ {) AHewlett HP8453 Diode-Array
6 o" l# p9 o' L7 {4 UVarian Associates Cary1,3,4,5 3 l- u) E. A p, \* F R( a
Hitachi U-3200/3210,U-3400/3410
$ j6 C9 `5 q9 W( ~ C
; D* U6 Z' C; }( S7 B % k( B2 X/ k" R1 K1 G' ?
MONITOR(監控系統)模組 " O& r" o* Q( A$ R/ H; r; f
MONITOR使用者能模擬沈積過程(Deposition processes)及決定最理想的方式獲取高?量的生?。
1 G$ j& Y: h% p5 K7 N- R
0 P8 ^" ]: }7 a' m b( B { CRYSTAL模組 * N9 I0 Y& |' m& ~
CRYSTAL 轉換薄膜設計到 Inficon IC/4+,IC/5+ 及 Sycon STC-200/SQ 控制器作處理,以上概括簡述 FilmStar 的特色及功能,它亦能做容限 (Tolerancing) 分析、產量分析、 … 等等,實為光學設計者的有利幫手。 , R) f" C! m" W/ X8 z# b
) F0 U5 d1 d0 {" `( \- _8 k2 V FilmStar April.23.2003版本新功能說明
) D/ a/ S' u& `+ K* G1 A' A0 d- J 新的FilmStar資料庫(Database)已經完成了對MS Access的聯結
% Y) |& {5 d: B. f) Y- C' ~ 對測試試用版感興趣的使用者可以透過電子郵件與我們聯繫,我們將告知您可供下載的操作說明以及新的安裝密碼,除了MEASURE的Varian Cary模組之外,所有程式皆可執行這個新的資料庫。
2 B1 P7 f) d# d! H1 u
+ p X! S* [/ N' N( ?4 g 新版本讓您可登錄為 FilmStar 的管理員 ( Administrator) & I |$ _# D" ~1 `
可 限制其他的電腦在執行 FilmStar時,對 程式功能做存取。例如,鍍膜部門裡用於光學監控的電腦,能設定為不允許使用者編輯或儲存薄膜設計。 7 q% ]2 y4 x* u& ^
+ o2 K5 c% y" p 新版本中的其他功能
0 ?0 `( Z: ]4 @6 Q 包括波長的單位、兆赫(terahertz)和 Maxwell-Garnett 的 INDEX 模組(感謝 Stephen Sathiaraj 博士協助新模組的執行和驗證),其他 INDEX 模組將在下個月新增。 ' H/ N) j) Z6 w
1 z3 f% r( K" \, ~- r8 ]
目前版本仍持續改進部分功能,例如:INDEX的最新版本,讓您可以限制index function相對於所顯示波長範圍的優化(fitting)功能,我們發現在可見光範圍內,可有效消除紫外線(UV)以及紅外線(IR)的資料點而不需要TiO 2 的優化(fit)。有一個包含版本的修正和改進的綜合清單,可以在以下網址找到:http://www.ftgsoftware.com/revisions.htm
d7 F8 R Q- z: \5 ]0 G1 X 7 n+ f* j6 g X
4 |7 A$ E9 d7 X
您知道可以使用標準的Windows檔案對話窗取代FTG式的對話窗嗎?FTG式對話窗的用意在於可允許使用者輸入檔案的描述,但對於長檔名的所有檔案類型,您可以視這些描述為多餘的。Windows檔案對話窗的一個優點為當勾選FILM Archive模式時,可更容易儲存與載入FILM Archive的模組(如 Graph Axes )。 |
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