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发表于 2006-8-20 23:08:34
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FilmStar 光學薄膜分析設計軟體 ( P* o1 C6 |! y J" G5 W- }4 @" y
FilmStar 是一個強大且容易使用的視窗之薄膜設計軟體，它包含了五種模組對於光學薄膜鍍膜的設計、特徵化、量測、監控等有強大的功能，分別為 DESIGN（ 設計 ）、INDEX（使用者自訂函數）、MEASURE（控制並透過分光光度計獲得資料）、 MONITOR（監控系統）、CRYSTAL（轉換薄膜設計到Inficon IC/4+、IC/5+及Sycon STC-200/SQ 控制器作處理）。 4 ^; ^9 r# }6 T' F4 {
1 S- |. o* _* c8 h/ N7 _! q$ m
FilmStar應用領域及範圍 % l3 X3 U% g* E; i1 X0 I. `
光學系統元件之抗反射膜
5 P- C1 c, \7 v Q; ]$ Z抗紫外線膜
I! Q4 H+ `; n, B# @亮度衰減膜
) S" ^% t7 Q0 D5 C高反射膜 - S" s1 P. z) G) t3 p
雙色濾光片
" C$ A2 p( ~' b' W( D; I2 a偏極分光片
+ G* n) i C i# z1 T, T! C7 _偏極延遲片 / b7 y( \( _, Q5 E( H8 \ B
帶通濾光片 * v; q J* v. Q/ P, B9 t
V& A! f& v! @6 l1 t2 b
# _: ~6 a% i9 I) b, C7 [ n FilmStar 主要模組介紹
* W; P8 o& i, E6 q+ k
) t. A. R% k1 H1 f" |+ ^+ r DESIGN （ 設計 ）模組 ; d1 L+ e ?7 s; {: G- Z, A& F) M) n) P
薄膜設計 (Thin Film Design) ; g7 z& M! P+ V6 k
其中包含許多的功能及主要特色：
3 {: t# N3 l# m8 x$ Y( s. ? 光學 (Optical)、物理(Physical)、大量(massive)層的厚度定義
1 n* B$ V( D9 M 光學和物理厚度的轉換
; E$ Q4 e8 M8 ~% X. ~ 群組和層數的轉換 0 j' o4 }. K$ F8 a4 H6 O
不同質 (inhomogeneous) 層的模擬
6 A! q/ Q9 H6 `4 j/ V 包含了 52 種膜的材料
4 w* m" U- w) G, x# [7 {8 c8 M 反向設計 (reverse design) % P* Q3 `" H1 R5 W
: |2 _5 s* b* b" V 索引 (Film Indices)
* b8 x+ S# `" a O: r i* h 提供 常數、色散 (dispersive)查閱表，內建函數包含Buchdahl、 Cauchy、Lorentz、 quadratic、 Sellmeier等等，使用者可增加到20種新的函數到內建的編輯功能中，如FilmStar Workbook、Excel或是其他程式中。
0 S0 o5 h5 ~5 g+ J0 h9 c4 ~5 ^ 基底補償(Substrate Compensation)
8 X) Q- M3 j" e9 [0 c8 d) J( d: y 提供 精確的校正基底表面，對於正向及逆向入射光，基底可被視?大量的 (massive)層，在系統中含有多重吸收基底及空氣間隔，這樣允許被計算及最佳化。 # L, j1 Q& \( i* H6 K
計算量(Calculated Quantities)
. j& j* D* e1 U) M [%R , %T , O.D , 相位] V.S [波長 , 角度 , 厚度] , H& X+ Y- d" P7 m4 \' @( \2 X
CIE color
2 C7 m# s8 ?0 y' r4 G. S# q 橢率測量術(ellipsometry) 6 ^2 K9 o" r- e. q# K/ a
Herpin indices + }3 A, x- B7 x9 z; H! x# m5 m
6 N) T+ G2 O3 _. c/ ] 最佳化 (Optimization)：提供四種優化方式 ' W8 o/ @! s% p n! [6 W, c
Damped Least Squares 3 G0 C# a: u' E
Levenberg-Marquardt
0 K. Y L* d3 q% X Simplex 6 W4 O, g- Q/ o
NOL Gradient Methods
) X0 W' F7 N; H) a1 ~9 \ 8 I5 w; P6 }- j6 f1 ]8 @9 i2 p
- m3 a# Z: }- B# q. V+ Z
INDEX（使用者自訂函數）模組 & y) e; |) K0 @* I9 R
光學膜不僅只是設計，還必須能被特徵化，對成功的薄膜製造而言，推斷色散指數 (dispersive indices) 的能力就非常重要。
8 X9 V3 a7 r; \) I6 U 索引目錄(Index Tables)
! G" x W$ H! F W2 E( H R 提供 N, K 目錄，使用者自訂函數能被定義在內建的 FilmStar workbook 或外部的 Windows 程式，如 Excel 或是 Visual Basic 。
. o- m$ d8 d, t9 Z, H/ [ m 附加運\算法(Additional algorithms)
3 Z( W8 I5 Q! Z* \* e 對於已知厚度的單層薄膜可由 %R及 %T資料計算 N,K
4 u2 ?# S- _3 Y0 U 對於輕微吸收的單層薄膜可由 %T 資料計算 N,K
% n7 y# X9 r; @/ S, T' T. t5 B 由 %R 及 %T 資料計算 filter glass 基底的 N,K
* u& A, R; [$ H7 J5 p* l* K
" G# x( U2 u( D* F: d 0 }, o `2 l6 O, d2 X/ @$ s1 B
MEASURE （控制並透過分光光度計獲得資料）模組 8 Q$ B! B4 C" j* _$ \5 D
MEASURE 由分光光度計 (Spectrophotometers) 控制及獲得資料，它亦可與 FilmStar 中的 DESIGN 結合。所提供的量測控制，為化學專用軟體的最佳替代選擇。以下的儀器是目前所支援的：所提供的量測控制，為化學專用軟體的最佳替代選擇。以下的儀器是目前所支援的： % G) x: |5 \0 G7 b0 N5 E. P
0 l9 t' B, m! l- j0 {1 F6 s* Q0 f! K
Perkin-Elmer Lambda 2,5,7,9,19,900 7 T) t. M, X# T& ^" m& C
88x,983,983G(FIR models)
: @9 S0 i$ i9 b; {Spectrum2000FTIR # I* F; M" }' V; c. k0 c
Hewlett HP8453 Diode-Array
r7 i* b5 U" U9 e$ RVarian Associates Cary1,3,4,5 % \) C9 T0 i0 h" m9 n7 z
Hitachi U-3200/3210,U-3400/3410 ! r( A5 t; X( M0 Z
+ i& \: p0 i6 O0 Q7 w3 S
j* p) P, J& J z0 U! H6 B MONITOR（監控系統）模組 4 y6 H; c2 G/ h, |& ]; E/ h7 ?
MONITOR使用者能模擬沈積過程(Deposition processes)及決定最理想的方式獲取高?量的生?。
4 Z" f) H; b' R' ?) ?. |$ A
# C P! T9 t7 S K& a* y) B0 A) h CRYSTAL模組
+ {. ]& i" _: m8 J- g& ^6 e" v CRYSTAL 轉換薄膜設計到 Inficon IC/4+,IC/5+ 及 Sycon STC-200/SQ 控制器作處理，以上概括簡述 FilmStar 的特色及功能，它亦能做容限 (Tolerancing) 分析、產量分析、 … 等等，實為光學設計者的有利幫手。 ' I. |' }3 t& M* ~$ G' V0 h
3 M; k4 o1 s4 D2 W
FilmStar April.23.2003版本新功能說明
& ?; C# ^4 D( y2 B; M 新的FilmStar資料庫（Database）已經完成了對MS Access的聯結 0 y) ]1 Y/ Z) s# ~% S5 ^
對測試試用版感興趣的使用者可以透過電子郵件與我們聯繫，我們將告知您可供下載的操作說明以及新的安裝密碼，除了MEASURE的Varian Cary模組之外，所有程式皆可執行這個新的資料庫。 ' n4 X/ N2 ~2 g/ o4 N2 g
, N, P7 I$ X2 h% N
新版本讓您可登錄為 FilmStar 的管理員 （ Administrator）
O3 a3 n3 n7 F( J$ ~ 可 限制其他的電腦在執行 FilmStar時，對 程式功能做存取。例如，鍍膜部門裡用於光學監控的電腦，能設定為不允許使用者編輯或儲存薄膜設計。 + p* c# C$ S) E& _$ z+ z4 r3 X% s
7 @" A) G& b4 L7 ~2 ` 新版本中的其他功能
" v) g$ e) A: c) L. h3 e# W 包括波長的單位、兆赫（terahertz）和 Maxwell-Garnett 的 INDEX 模組（感謝 Stephen Sathiaraj 博士協助新模組的執行和驗證），其他 INDEX 模組將在下個月新增。 - u P/ Y; z" k# L
7 _* Q) `' }% {! P; K; }* h- Q 目前版本仍持續改進部分功能，例如：INDEX的最新版本，讓您可以限制index function相對於所顯示波長範圍的優化（fitting）功能，我們發現在可見光範圍內，可有效消除紫外線（UV）以及紅外線（IR）的資料點而不需要TiO 2 的優化（fit）。有一個包含版本的修正和改進的綜合清單，可以在以下網址找到：http://www.ftgsoftware.com/revisions.htm
1 e7 h$ g: K7 w& `4 z$ ?1 k % ]3 B1 ]% R1 H" R
! `. s- C9 h3 l3 D/ r2 H) f 您知道可以使用標準的Windows檔案對話窗取代FTG式的對話窗嗎？FTG式對話窗的用意在於可允許使用者輸入檔案的描述，但對於長檔名的所有檔案類型，您可以視這些描述為多餘的。Windows檔案對話窗的一個優點為當勾選FILM Archive模式時，可更容易儲存與載入FILM Archive的模組（如 Graph Axes ）。 |
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