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[讨论] 硅片镀膜问题

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发表于 2011-7-2 02:52:41 | 显示全部楼层 |阅读模式
大家讨论下在硅片上度AR膜 一般加多少温度呢?
发表于 2011-7-2 09:36:47 | 显示全部楼层
看你镀的膜膜设备了,离子溅射低点,电子束蒸发高点。。。
) F# H0 N6 O: s1 j# n' `, x我们这里一般加100-150,,,,
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发表于 2011-7-4 00:40:50 | 显示全部楼层
两百以上{:12_125:}
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 楼主| 发表于 2011-7-4 04:14:04 | 显示全部楼层
200以上不怕炸裂吗?
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发表于 2011-7-4 07:46:50 | 显示全部楼层
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发表于 2013-9-4 13:45:01 | 显示全部楼层
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