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光学薄膜论坛» › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › 硅片镀膜问题
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查看: 1321|回复: 5

[讨论] 硅片镀膜问题

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发表于 2011-7-2 10:52:41 | 显示全部楼层 |阅读模式
大家讨论下在硅片上度AR膜 一般加多少温度呢？
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发表于 2011-7-2 17:36:47 | 显示全部楼层
看你镀的膜膜设备了，离子溅射低点，电子束蒸发高点。。。
( R+ h/ M' H; K4 I' ~% }4 y我们这里一般加100－150，，，，
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发表于 2011-7-4 08:40:50 | 显示全部楼层
两百以上{:12_125:}
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 楼主| 发表于 2011-7-4 12:14:04 | 显示全部楼层
200以上不怕炸裂吗？
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发表于 2011-7-4 15:46:50 | 显示全部楼层
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发表于 2013-9-4 21:45:01 | 显示全部楼层
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