真空装置中污染的形成及其影响

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真空装置中污染的形成及其影响时间:2009-04-10　　来源:中国电子科技集团公司第四十五研究所　　编辑:陈占杰        真空装置在制造过程中，零件表面不可避免地会沾上油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物，同时，污染物在大气压下吸附了大量的气体，在真空环境中，这些气体被释放出来，构成了限制真空设备极限真空的因素。        真空装置在使用过程中，受使用条件的影响，零件还会受到污染，如真空干燥系统，经常会受到蒸发物质的污染；真空镀膜机的内壁会被蒸镀材料污染；离子束刻蚀设备的内壁会被溅射物污染；真空中电子枪的灯丝，由于高温蒸发会使其附近表面形成金属膜；真空系统中的机械泵油和扩散泵油更是污染源，会使设备在长期工作后内部形成油膜。这些污染同样会影响设备的性能。        在各类真空工艺生产中，例如，电真空工艺、真空镀膜工艺、真空焊接工艺等都十分重视真空卫生问题。在电真空工艺中，要求装配到高真空环境中的零件，事先都必须进行认真清洗，否则各种污染物可成为大量气体和蒸汽的来源，会延长真空器件的排气时间，不易获得高真空。在真空镀膜技术中，基片（衬底）表面的清洁处理也十分重要，暴露于大气中的衬底表面普遍受到污染，吸附现象、化学反应、浸析和干燥、机械处理以及扩散和离析过程都会使各种成份的表面污染物增加。基片表面在镀膜之前必须是清洁的，否则镀层与表面将不能很好地粘附。         环境污染对真空卫生影响很大，环境污染物来自空气、地板、墙壁、天花板、工作服的灰尘及棉绒等。为此，真空器件的一些特殊零部件的生产，都要求在清洁室或超洁净室里进行。在电子管制造中，管子装架和零件处理必须在封闭良好的洁净室里进行，空气必须经过两极或多极过滤，相对湿度保持在5 0 % 以下。真空卫生涉及到真空系统的各个方面，涉及到真空装置本身及其对周围环境的要求。这是一个值得重视的问题。真空室污染物的几种类型（1）油脂：加工、安装和操作过程中沾染的润滑剂、真空油脂等；（2）水滴：操作过程中的手汗、吹玻璃时的唾液等；（3）表面氧化物：易氧化材料长期暴露或放置在潮湿大气中所形成的表面氧化物；（4）酸、碱、盐类物质：清洁后的残余物质、手汗、自来水中的矿物质等；（5）空气中的尘埃及其它有机物。