脉冲磁控溅射制备树脂镜片红外防护功能薄膜

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脉冲磁控溅射制备树脂镜片红外防护功能薄膜

【英文篇名】	Anti-IR Films of Resin Lens Prepared by Pulse Magnetron Sputtering
【作者中文名】	[url=]冯海华[/url]; [url=]胡川[/url]; [url=]陈娇洁[/url]; [url=]王媛媛[/url]; [url=]厉以宇[/url];
【作者英文名】	[url=]Feng Haihua1[/url]; [url=]2 Hu Chuan1[/url]; [url=]2 Chen Jiaojie1[/url]; [url=]2 Wang Yuanyuan1[/url]; [url=]2 Li Yiyu1[/url]; [url=]2（1Key Laboratory of Vision Science Research[/url]; [url=]Ministry of Health[/url]; [url=]Optometry & Ophthalmology[/url]; [url=]Wenzhou Medic College[/url]; [url=]Wenzhou[/url]; [url=]Zhejiang 325027[/url]; [url=]China 2Eye Hosptial of Wenzhou Medical College[/url]; [url=]China）[/url];
【作者单位】	[url=]温州医学院眼视光学院卫生部视觉科学研究重点实验室[/url]; [url=]温州医学院附属眼视光医院[/url];
【文献出处】	激光与光电子学进展, Laser & Optoelectronics Progress, 编辑部邮箱 2011年 03期   , I- |# M5 ^9 s- e! I4 P( m期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【关键词】	[url=]薄膜[/url]; [url=]红外防护膜[/url]; [url=]中频脉冲磁控溅射[/url]; [url=]树脂镜片[/url];
【英文关键词】	[url=]thin films[/url]; [url=]anti-IR films[/url]; [url=]mid-frequency pulse magnetron sputtering[/url]; [url=]resin lens[/url];
【摘要】	选取氮化硅和二氧化硅作为薄膜材料,借助膜系设计软件对膜系结构进行优化,采用中频脉冲磁控溅射技术进行薄膜制备。利用高反膜透射曲线拟合方法调整薄膜的实际沉积速率,减少膜厚控制误差,在树脂镜片CR39基底的凸面和凹面上分别镀制了符合设计要求的红外防护膜和可见光减反膜。镀膜后树脂镜片在420~680 nm的平均透过率大于95%,在近红外800~1400 nm波段的平均透过率小于60%,薄膜性能稳定,能够满足红外防护树脂镜片的日常使用需要。
【英文摘要】	SiO_2 and Si_3N_4 are chosen as coating materials.The structure of thin films is optimized by using software.Mid-frequency pulse magnetron sputtering is adopted to prepare the films.Deposition rate is calibrated by fitting the measured transmittivity curve of high-reflective thin films,which improves the precision of film thickness monitoring.The anti-IR films and visible light anti-reflective films are successfully deposited on the convex and concave suface of CR39 resin lens respectively.At normal inciden...
【基金】	浙江省科技计划(2009C31136)资助课题
【DOI】	CNKI:SUN:JGDJ.0.2011-03-019

simongong

好东西，谢谢楼主

xj2008cg

好资料，要学习，谢谢