基于透射光谱确定溅射Al_2O_3薄膜的光学常数

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基于透射光谱确定溅射Al_2O_3薄膜的光学常数

【英文篇名】	Determination of the optical constants of the magnetron sputtered aluminum oxide films from the transmission spectra
【作者中文名】	[url=]廖国进[/url]; [url=]骆红[/url]; [url=]闫绍峰[/url]; [url=]戴晓春[/url]; [url=]陈明[/url];
【作者英文名】	[url=]Liao Guo-Jin1） Luo Hong2） Yan Shao-Feng1） Dai Xiao-Chun1） Chen Ming1） 1） （Faculty of Mechanical Engineering and Automation[/url]; [url=]Liaoning University of technoligy[/url]; [url=]Jinzhou 121001[/url]; [url=]China） 2） （Petro China Northeast Refining & Chemicals Engineering Company Limited Jinzhou Design Institute[/url]; [url=]China）[/url];
【作者单位】	[url=]辽宁工业大学机械工程与自动化学院[/url]; [url=]中石油东北炼化工程有限公司锦州设计院[/url];
【文献出处】	物理学报, Acta Physica Sinica, 编辑部邮箱 2011年 03期   期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【关键词】	[url=]光学常数[/url]; [url=]Swanepoel方法[/url]; [url=]Al2O3薄膜[/url]; [url=]热处理[/url];
【英文关键词】	[url=]optical constants[/url]; [url=]Swanepoel s method[/url]; [url=]Al2O3 films[/url]; [url=]annealing[/url];
【摘要】	基于反应磁控溅射Al2O3薄膜的紫外—可见—近红外透射实验光谱,采用Swanepoel方法结合Wemple-DiDomenico色散模型,方便地导出了Al2O3薄膜在200—1100nm波长范围内的光学常数,包括折射率、色散常数、膜层厚度、吸收系数及能量带隙.研究发现反应磁控溅射Al2O3薄膜具有高折射率(1.556—1.76,测试波长为550nm)、低吸收和直接能量带隙(3.91—4.20eV)等光学特性,而且其光学常数对薄膜制备过程中的重要工艺参数——膜层后处理温度表现出强烈的依赖性.此外,在膜层的弱吸收和中等吸收光谱区域内,计算得到的折射率色散曲线与分光光度法的测试结果基本符合,说明本实验中所建立的计算方法在确定反应磁控溅射Al2O3薄膜光学常数方面的可靠性.
【英文摘要】	By combining Swanepoel′s theory and the Wemple-DiDomenico dispersion model,a simple method was established to determine the optical contants of the magnetron sputtered aluminum oxide films directly from the corresponding transmission spectra. The results showed that the magnetron sputtered aluminum oxide films exhibit the optical characteristics of high refractive index of 1. 566—1. 76 ( at 550 nm),negligible absorption in spectral region of 400— 1100 nm,as well as the direct band gap of about 3. 91—4. 2 eV...
【基金】	国家自然科学基金(批准号:50376067);; 辽宁省教育厅科学基金(批准号:2008316)资助的课题~~
【DOI】	CNKI:SUN:WLXB.0.2011-03-039

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很好的资料，感激楼主