单层SiO_2和ZrO_2薄膜激光辐照损伤的对比

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单层SiO_2和ZrO_2薄膜激光辐照损伤的对比

【英文篇名】	Contrast Study of Laser-induced Damage of Monolayer SiO_2 and ZrO_2 Films
【作者中文名】	[url=]章春来[/url]; [url=]郭袁俊[/url]; [url=]吕海兵[/url]; [url=]袁晓东[/url]; [url=]蒋晓东[/url]; [url=]祖小涛[/url];
【作者英文名】	[url=]ZHANG Chunlai1[/url]; [url=]2[/url]; [url=]GUO Yuanjun2[/url]; [url=]LV Haibing1[/url]; [url=]YUAN Xiaodong1[/url]; [url=]JIANG Xiaodong1[/url]; [url=]ZU Xiaotao2（1.Research Center of Laser Fusion[/url]; [url=]China Academy of Engineering Physics[/url]; [url=]Mianyang 621900[/url]; [url=]China[/url]; [url=]2.School of Physical Electronics[/url]; [url=]University of Electronic Science and Technology of China[/url]; [url=]Chengdu 610054[/url]; [url=]China）[/url];
【作者单位】	[url=]中国工程物理研究院激光聚变研究中心[/url]; [url=]电子科技大学物理电子学院[/url];
【文献出处】	压电与声光, Piezoelectrics & Acoustooptics, 编辑部邮箱 2011年 01期   期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【关键词】	[url=]SiO2/ZrO2薄膜[/url]; [url=]孔隙率[/url]; [url=]热吸收[/url]; [url=]激光损伤阈值[/url]; [url=]损伤形貌[/url];
【英文关键词】	[url=]SiO2/ZrO2 films[/url]; [url=]porous ratio[/url]; [url=]thermal absorption[/url]; [url=]LIDT[/url]; [url=]damage morphology[/url];
【摘要】	分别采用物理气相沉积和溶胶-凝胶技术在K9基片上镀制了4块光学厚度相近的Si O2和ZrO2单层膜。分别采用椭偏仪、透射式光热透镜和原子力显微镜对两类薄膜的孔隙率、热吸收和微观表面形貌进行了表征;利用Nd∶YAG激光器测试了样品的激光损伤阈值(LIDT;1 064 nm/8.1 ns),并用光学显微镜观察了两类薄膜的损伤形貌。结果表明,化学膜的孔隙率和表面粗糙度均大于相应的物理膜;对同一类薄膜而言,Si O2化学膜的孔隙率和表面粗糙度都比ZrO2化学膜大,物理膜则相反。化学膜有更小的热吸收,其损伤阈值普遍比物理膜高出1倍,其损伤形貌多为热熔型,而物理膜多为应力型。
【英文摘要】	Four pieces of the monolayer SiO2 and ZrO2 films with similar optical thickness were deposited on K9 glass substrates with the electron beam evaporation method(PVD) and dip-coating method(Sol-Gel),respectively.The porous ratio,thermal absorption and surface morphologies were investigated by the ellipsometer,Stanford photo-thermal solutions and atomic force microscopy,respectively.The laser-induced damage threshold(LIDT) of the two kinds of films was measured by Nd∶YAG laser(1 064 nm/ 8.1 ns).The optical mic...
【基金】	国家“八六三”基金资助项目(2008AA8040508);; 中央高校基本科研业务费专项基金资助项目(ZYGX2009X007)
【DOI】	CNKI:SUN:YDSG.0.2011-01-032