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[转贴] 油扩散泵主要故障的修复方法

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发表于 2011-4-3 23:32:48 | 显示全部楼层 |阅读模式
扩散泵主要故障的修复方法马长源摘 要:
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关键词:扩散泵 故障 维修 高真空泵5 X. N5 Z2 P$ U9 `$ a  @  Q, U0 V

. z+ a- f2 K& `5 M) ]) ~. p分类号: TB752.421
( r2 z, u& u2 U( t! U文献标识码:
* c4 Q9 l8 x: P( W0 W: d$ A4 |文章编号:( k3 s" l+ }  L, M& f6 t3 s/ c
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