机械泵—扩散泵—二级真空系统常见故障的分析与排除

bomoaa · 发表于 2011-4-3 15:29:23

本帖最后由 bomoaa 于 2011-4-3 23:31 编辑

机械泵—扩散泵—二级真空系统常见故障的分析与排除韩咏中国地质大学矿物岩石材料国家专业实验室摘　要:以日立公司ＨＵＳ－５ＧＢ镀膜仪为例，总结了归纳了机械泵－扩散泵二级真空系统的常见故障，逐一分析了它们的起因，并提出了相应的排除方法。

关键词:机械泵扩散泵真空系统故障分析镀膜仪

分类号:　TB753
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longmin · 发表于 2011-4-4 08:06:54

謝謝樓主資料

95489548 · 发表于 2013-9-4 12:52:59

95489548 · 发表于 2013-9-4 12:55:19

王鹏 · 发表于 2019-7-15 02:38:48

lao · 发表于 2021-10-21 04:58:34

可以可以

lao · 发表于 2021-10-21 04:58:35

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lao · 发表于 2021-10-21 04:58:45

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lao · 发表于 2021-10-21 04:58:46

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lao · 发表于 2021-10-21 04:58:46

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