真空系统故障检修探讨

bomoaa

真空系统故障检修探讨刘芙 张孝彬 张爱丽浙江大学材料系，浙江杭州310027摘　要:一台英国产S-600扫描电镜，开机后扩散泵不启动，检查冷却水系统，发现水压不够，经检查发现是自来水中的水垢积累在冷却水管造成冷却水管堵塞，疏通水管后真空预抽5分钟达不到扩散泵开启要求，但继续抽10分钟，扩散泵打开，加热45分钟后，大阀开启，但高真空仍达不到要求。按照真空维修的顺序，
4 r/ F9 K  @# ^3 c
关键词:扩散泵 故障检修 开机 维修 真空系统 国产 启动 检查 发现 要求
3 j. l- I0 s/ Z, Z7 z) h
9 W* ?: a4 D* D- E$ B! Y分类号:　TN16
( n8 r9 [; p; v/ `3 O' g+ Y文献标识码：
文章编号：
栏目信息：

& N, K' @  X- Q' t! x5 }& b相关文献:主题相关
$ u4 j$ B; i+ A. Y: K8 c7 _

6 O3 f$ ~( _% E5 N" o4 Z1 z

longmin

參考參考謝謝樓主