真空系统故障检修探讨

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真空系统故障检修探讨刘芙 张孝彬 张爱丽浙江大学材料系，浙江杭州310027摘　要:一台英国产S-600扫描电镜，开机后扩散泵不启动，检查冷却水系统，发现水压不够，经检查发现是自来水中的水垢积累在冷却水管造成冷却水管堵塞，疏通水管后真空预抽5分钟达不到扩散泵开启要求，但继续抽10分钟，扩散泵打开，加热45分钟后，大阀开启，但高真空仍达不到要求。按照真空维修的顺序，
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  O% c  W; r3 h& s( n) N  L关键词:扩散泵 故障检修 开机 维修 真空系统 国产 启动 检查 发现 要求

分类号:　TN16
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