定制高端激光薄膜

光学薄膜论坛

 找回密码
 注册
搜索
本站邀请注册说明!
查看: 1071|回复: 1

[转贴] 真空系统故障检修探讨

[复制链接]
发表于 2011-4-3 23:26:47 | 显示全部楼层 |阅读模式
真空系统故障检修探讨刘芙 张孝彬 张爱丽浙江大学材料系,浙江杭州310027摘 要:一台英国产S-600扫描电镜,开机后扩散泵不启动,检查冷却水系统,发现水压不够,经检查发现是自来水中的水垢积累在冷却水管造成冷却水管堵塞,疏通水管后真空预抽5分钟达不到扩散泵开启要求,但继续抽10分钟,扩散泵打开,加热45分钟后,大阀开启,但高真空仍达不到要求。按照真空维修的顺序,
9 @1 d- t. [. C8 a( }" K1 Y% u
关键词:扩散泵 故障检修 开机 维修 真空系统 国产 启动 检查 发现 要求+ J- i5 o8 Q; p6 c
* D0 Z' {. R4 g. p
分类号: TN16
6 A+ `) ?0 T+ s% K& O& y! @8 b文献标识码:
, U: O0 X; W& w, ~. Z8 K文章编号:2 R: Y+ f9 K* M+ d6 \0 P, E/ [
栏目信息:
- ~2 s; i8 D- u4 C. N2 ?' A
/ ~! f1 u* P, L5 ?# P+ h相关文献:主题相关 % c7 k0 B5 y# [( o9 S

7 m% M# |2 p3 ~& ]! |5 f& N; a' d. }# y. Z' L

本帖子中包含更多资源

您需要 登录 才可以下载或查看,没有帐号?注册

x
发表于 2011-4-4 16:36:22 | 显示全部楼层
參考參考謝謝樓主
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则

本站邀请注册说明!

小黑屋|手机版|Archiver|光学薄膜信息网  

GMT+8, 2024-5-13 08:26 , Processed in 0.024107 second(s), 19 queries .

Powered by Discuz! X3.4 Licensed

Copyright © 2001-2021, Tencent Cloud.

快速回复 返回顶部 返回列表