真空系统故障检修探讨

bomoaa

真空系统故障检修探讨刘芙 张孝彬 张爱丽浙江大学材料系，浙江杭州310027摘　要:一台英国产S-600扫描电镜，开机后扩散泵不启动，检查冷却水系统，发现水压不够，经检查发现是自来水中的水垢积累在冷却水管造成冷却水管堵塞，疏通水管后真空预抽5分钟达不到扩散泵开启要求，但继续抽10分钟，扩散泵打开，加热45分钟后，大阀开启，但高真空仍达不到要求。按照真空维修的顺序，

  Q: P0 p+ w# b6 Y关键词:扩散泵 故障检修 开机 维修 真空系统 国产 启动 检查 发现 要求
% ~8 d( i+ Q, I
分类号:　TN16
5 {. _+ r  Z% E9 P# N. V" r文献标识码：
) [0 o; d: y' ^文章编号：
  l% ^+ W  J( Q9 }栏目信息：
5 [1 m+ W- V6 ^
相关文献:主题相关


  c5 c( y) N1 I& g/ O

longmin

參考參考謝謝樓主