油扩散泵抽速不稳定？

fawang

各位大侠，请问油扩散泵如果3年没保养过（仅加油或换油），镀膜室内充气体（固定流量600SCCM），会不会出

6 Q9 ]6 n" c, w/ e6 C. t# L" [现镀膜室压力时高时低（从2mtorr到3.2mtorr），也就是抽速不稳定这种现象？因为以前没出现过，当
% ]( W5 l! l- n! J
9 F) g  W# R# j3 w. ]( {- v. _然也可能是漏气，但我想问如果不漏气的情况下会不会出现这种情况？谢谢！