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半导体激光器腔面光学膜关键技术研究# f4 Y" q& L; d' W8 `8 o+ n) d
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" W* ^6 l$ d2 C6 v6 j& q" D7 Y【英文题名】 The Investigation of the Key Technology for Semiconductor Laser Face Coating
! Q: x0 f+ w2 _: v) m【作者中文名】 李再金; " q) B9 R. ~0 b& w( L- ]2 v* y. d
【导师】 王立军;
! u0 V) w9 p U9 c【学位授予单位】 中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所); 4 _5 W& g$ H, W H4 Q$ V3 n4 e( o
【学科专业名称】 凝聚态物理
# E* [7 j* |: g2 G+ H. L【学位年度】 2010 * J7 H# H2 J' h+ X) _) c2 |
【论文级别】 博士 6 B5 _8 B7 R9 ]. k' P
【网络出版投稿人】 中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 8 f1 d# l; z- [
【网络出版投稿时间】 2010-09-17
! e* a" I) S3 b- \7 R# D【关键词】 半导体激光器; 光学薄膜; 灾变光学镜面损伤; 激光损伤阈值; ! Y3 U9 W0 k/ s- c9 K% z. a' f4 I* I
【英文关键词】 laser diode; optical coatings; catastrophic optical mirror damage; laser damage threshold; 6 \8 `3 i: D0 V) {, x6 a: V2 d
【中文摘要】 本文围绕半导体激光器所使用的光学薄膜进行了研究与制备。针对高功率半导体激光器对高激光损伤阈值光学膜的要求,主要研究了以下几方面内容: 第一,从半导体激光器光学薄膜设计理论出发,对1/4λ周期性多层薄膜的光谱特性和反射带宽进行了分析,并讨论了半导体激光器光学薄膜中的损耗和激光在光学薄膜中的电场强度分布情况,为高激光损伤阈值腔面光学膜的设计和制备提供了理论依据和参考。 第二,以半导体激光器理论为依据,系统的模拟了与腔面光学膜相关的边发射半导体激光器的特性,主要包括阈值电流、斜率效率和输出激光功率与前后腔面光学膜反射率之间的关系。模拟结果表明当前后腔面光学膜的反射率取最佳值时,半导体激光器的输出功率达到最大值。 第三,研究了边发射半导体激光器腔面灾变光学镜面损伤机理。研究结果表明半导体激光器产生灾变光学镜面损伤最主要的原因是半导体激光器腔面的氧化,抑制半导体激光器腔面的氧化,可以提高光学薄膜激光损伤阈值、半导体激光器的输出功率和器件的可靠...
& {2 _ N) n; h# K |【英文摘要】 In this dissertation, the research work on the optical coating in the laser diode is presented. To achieve high laser damage threshold for the high power laser diode, the main research contents include: Firstly, based on the laser diode optical coating design theory, the spectral characteristics of 1/4λperiodic multilayer coatings and reflection bandwidth are analyzed, and the loss of the semiconductor laser diode optical coating and the distribution of the electric field intensity of laser in the optic...
: {1 i: [; F6 f% S4 A+ {( P9 b( R! ^【DOI】 CNKI:CDMD:1.2010.180731
& h5 h" a9 L1 n5 M0 I/ I( a8 L【相同导师文献】 [1] 张云鹏.大功率半导体激光器风冷散热系统[D]. 中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所),2005
) B( U' A- A$ a; `/ I" b[2] 张春林.新型高功率包层泵浦光纤激光器的研究[D]. 中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所),2005
$ @2 p" F. x) s1 Q6 }[3] 金珍花.高功率980nm垂直腔面发射激光列阵[D]. 中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所),2005
! b+ F% T0 |/ n1 q3 ^[4] 曹玉莲.高功率半导体量子阱激光器的可靠性研究[D]. 中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所),2003
. C4 Q. S. g1 y. q& f5 i[5] 王青.高功率980nm垂直腔面发射激光器的研制[D]. 中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所),2004 |
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