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发表于 2008-4-5 11:17:47
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SPECTOR光学镀膜系统在高精度光学薄膜沉积应用中处于领先地位。SPECTOR光学镀膜系统具有多种基片装置和靶子配置的选择性以及最新技术水平的光学监控系统,它可实际满足光学薄膜的各种应用需要。SPETOR是当今仅存的在同一系统可互换使用行星型,简单旋转型或可翻转型基片装置的系统。在通信应用上,SPECTOR能用于沉积高产值的200,100和50GHz 具有窄通带, 宽截止频带, 高隔离度, 低插损特性的DWDM滤波器,满足最为严格的性能指标。在其它高精度光学应用上,SPECTOR能用于沉积增透膜,复杂的非四分之一波长膜层,以及吸收和散射低于百万分位的超低损耗激光镜。SOURCERER系统管理器具有独特的实时动画图形显示界面,它能提供比市场上其它任何离子束系统控制软件包更强的控制能力和更好的灵活性。工艺工程师们可以使用简单的命令或容易地输入的薄膜设计去开发出高级的自动化程序,开始镀膜,离去, 当返回时沉积过程巳经完成。Veeco具有超越的工艺经验以及在世界范围能捷速响应的服务机构, Veeco为同行业建立了售前和售后服务的标准。 |
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