大口径光学薄膜透反射率测量方法的研究

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大口径光学薄膜透反射率测量方法的研究
设计了大口径光学薄膜透、反射率自动测量系统，该系统能在宽波段、大角度范围内进行自动测量；重点论述了大角度测量厚度较大的样品时机械结构的实现；介绍了系统光路的设计和数据采集部分的实现；分析了测量误差的主要来源，并提出相应的解决办法