用于镀制超薄银膜的一种有效的监控方法

zyp

用于镀制超薄银膜的一种有效的监控方法
) H6 w. B2 \& ~" Y) v) U林炳 于天燕 张凤山(中国科学院上海技术物理研究所，上海200083)
文　摘:银经常被应用于制备诱导增透滤光片，在这种宽带滤光片中，银膜的厚度一般在几个纳米，这样使得精确监控银的厚度很困难。提出一种简单易行的改进方法，通过在蒸发源上方加一个调速挡板，结合晶振膜厚仪，可以获得±0．4nm以内控制精度的超薄银膜。
$ M2 Q/ ?  o: s关键词:光学薄膜 超薄薄膜 薄膜技术 膜厚监控
分类号:　O484ISSN:　1005-5630
相关文献:参考文献(8篇)　　　 耦合文献(31篇)　　　 主题相关