关于离子源的作用及成膜过程请教大家

zhf11221122

1...请问各位大大离子源的作用除了活化粒子，加强氧化外有其他作用么，越详细越好
  `8 I  F  {3 n- ?' `2..如镀Sio2和Ta2O5，他们氧化过程是在靶面形成的还是在靠近基材区域形成的呢？
& Z' s- ^1 ?1 P0 x( \本人新人，大家有好资料推荐下，威望，金币太少了。
3..另外有破解的一些比较好的膜系设计软件么？

gds

离子源还有增加膜的致密性，改善膜的应力。。。。。