光学薄膜离子束辅助蒸发沉积技术新进展

gds · 发表于 2010-11-21 22:39:50

题名：光学薄膜离子束辅助蒸发沉积技术新进展
作者：冯涛
出处：《今日科苑》 2010年第14期
摘要：本文介绍了光学薄膜离子柬辅助蒸发沉积技术的进展，介绍了离子源技术以及离子束辅助沉积技术对薄膜特性的影响。

xj2008cg · 发表于 2011-7-8 14:06:19

好资料，谢谢楼主

		自动登录	找回密码
密码			注册

[转贴] 光学薄膜离子束辅助蒸发沉积技术新进展