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FILM★STAR光学薄膜软件
: d- u5 A' r1 g4 ?& XFilmStar是基于Windows下开发的一套用于光学薄膜设计、制作和测量的软件。FilmStar因为它的易用和能与控制仪表、分光光度计连通而著名。FilmStar在用户客制化和自动化方面的能力是独一无二的。
. u; p# \7 o7 W4 C3 I+ nFilmStar包括设计、测量和监控光学薄膜镀制模块:DESIGN&INDEX、MONITOR、CRYSTAL和MEASRUE.
& P. M# h q7 v$ Y! g/ v4 z9 ZDESIGN 设计和优化光学薄膜
# Y6 F4 e$ C$ e% R5 L2 [4 lINDEX 维持色散指数文件和函数1 @1 s. k( ~) O' T
MONITOR 将设计转化成光学监控设置! |; k/ X' b v5 ~" j
CRYSTAL 上载设计到Inficon and Sycon 沉积控制器
6 R0 v: J) t* Q- l6 [. ZMEASRUE 控制分光光度计和获取数据( t# W3 v: P# ]& D3 U8 v
DESIGN:DESIGN包含许多种对于膜层厚度的定义:光学(Optical),物理(Physical),大量(massive)层的厚度定义。FilmStar支持对包含多重基底和在所有或部分膜层有间隔的复杂系统进行评估和优化.+ M6 A; @) E& c% v2 I
优化和综合方法包括DLS,LM,simplex, gradient, needles, flip-flop和genetic evolution.对于多重波长和角度的目标包括R%,T%,相位,Psi/Delta等等.用户自定义目标也是支持的.3 Q( b- W5 B) S+ U
4 \' ^ V2 H% Q DESIGN Interactor Screen+ l5 o* A. _9 F; ^( B' H
INDEX:光学膜不仅只是设计,还必须能被特征化,对成功的薄膜制造而言,推断色散指数(dispersive indices)的能力就非常重要
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7 k' Y4 m5 I6 B! v8 S# bMain Screen, K) v. H" q5 x" L) n' W
MONITOR:MONITOR使用者能模拟沉积过程(Deposition processes)及决定最理想的方式获取高产量的生产。
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i6 n. x) D/ ^7 D. p/ vMONITOR Interactive Worksheet
3 v# c8 A- t) _4 f/ H. |CRYSTAL:CRYSTAL转换薄膜设计到Inficon IC/4+,IC/5+及Sycon STC-200/SQ 控制器作处理。以上概括简述FilmStar的特色及功能,它亦能做容限(Tolerancing)分析,产量分析,等等…。是光学设计者的有利帮手。
; K: x% F! o1 C! v$ R2 ~! D : x' n; @3 I. Q6 n2 k% n! Z
CRYSTAL Worksheet
- @$ ?. [0 p5 @9 K) P, A' z7 H' D6 L/ X
MEASURE :光学薄膜必须被测试-而不仅仅是设计.
7 a2 J: \1 g7 w3 ^3 n可选模块MEASURE可从分光光度计控制和获取数据.这个模块和DESIGN结合并且提供光学用户一个可选择性,这是区别于化学软件由仪器厂商提供。其他薄膜软件是不能直接控制分光光度计的." F/ q- i! a3 A
% n/ G2 ?8 j; P3 o5 w6 U! hMEASURE Scan Method for PE 881
8 B; U& X* @6 ?" s0 |( M9 a当前支持的仪器包括PE Lambda2-950/URA(Lambda 19 Win XP!),PE 580-983,Cary,Agilent 8453,Hitachi U-3210/3410,OOI和Zeiss. |
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