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推荐可以直接测量薄膜反射率和透射率分光光度计

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发表于 2010-8-11 04:28:04 | 显示全部楼层 |阅读模式
  N, L: X! T( y8 t5 U2 B

9 D' B* Q# e0 v! N4 A  F一种可以同时测量薄膜反射率、折射率、透射率的光学薄膜测厚仪 3 I. Y7 f* x4 z3 K; A
产品特征:
, J9 N4 q/ _3 I6 O" J· 易于安装
; p1 \7 J* Y- ?6 k- K6 p+ r% P· 基于视窗结构的软件,很容易操作 ( U& Q( h; k6 r) x, I/ l
· 先进的光学设计,以确保能发挥出最佳的系统性能 $ S" \& X2 M1 v9 X% [2 j2 F5 ~
· 基于阵列设计的探测器系统,以确保快速测量
/ b$ a9 v5 f2 J( J, e· 独特的光源设计,有着较好的光源强度稳定性
4 f% n5 E7 p$ n, ^- m· 最多可测量5层的薄膜厚度和折射率 : Q: y- W7 q1 ?6 W7 [) q9 f/ R
· 在毫秒的时间内,可以获得反射率、透射率和吸收光谱等一些参数 ! C* J3 l* ^+ ?" w% o+ `
· 能够用于实时或在线的厚度、折射率测量 ( `0 M2 V9 E6 l) c8 w5 G
· 系统配备大量的光学常数数据及数据库 7 b4 X. C5 u' W  l$ G, A. m( }7 x
· 对于每个被测薄膜样品,用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型(EMA)测量分析; 0 }' x* z* F/ J1 A, D1 o
· 可升级至MSP(显微分光光度计)系统,SRM成像系统,多通道分析系统,大点测量。 ( x1 U; G/ Z+ A& b4 w
· 通过模式和特性结构直接测量。
# P/ s! `2 G6 j( s. S' {5 k· 提供的各种配件可用于特殊结构的测量,例如通过曲线表面进行纵长测量。 8 ]4 e+ \; J* ?
· 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。 3 c4 }# H: n) i

9 O# P, Z. b' _! V系统配置 3 ^% D2 W5 v1 R# ~: Z
型号:SRT100 - z# N8 N6 J9 _( a
检测器:双通道CCD阵列的每个像素2048 ; K$ }0 f, O3 I" S7 g
光源:氘灯和高功率卤素灯
' ]) a- V) h: _, [0 H! m& j3 _& `1 |光传输:光纤
' Q! w/ f% R  {, E载物台:黑色铝合金样品测量平台轻松调整高度,100mmx100mm尺寸
% }8 Y. Y& ?+ v; h+ q# W  x通讯:USB ) ?6 @5 o5 o# d6 ~% J  I9 I3 B' V
测量类型:薄膜厚度,反射光谱,透射光谱,折射率
% F( N! b5 O  s, G8 j软件:TFProbe 2.3 7 O$ W1 @) i2 n* `2 h3 B, X2 B
电脑需要:常规配置
7 m2 n; P8 D, x% }) e电源:110 - 240伏交流电/ 50 - 60Hz的,1.5A
* o* J6 G1 x( Z% P& i保修:1年 - R, m8 ^! K1 X7 n2 p

# ~( C' `- H' e0 X, F" ~8 k5 X& U3 l- X产品规格 7 p0 K$ \1 v: z$ l6 f& G# x
波长范围:250nm到1100 nm ( W  K5 L" `3 g
光斑尺寸:500μm至5mm : c; Y( q9 ]  _! r
样品尺寸:100mmx100mm " O" b) P: ]( }; f) a. ?
基板尺寸:最多可至50毫米厚 $ x* {- y$ o, @% U: h
测量厚度范围*:5nm-50μm % }* s5 D: K3 L' t$ ?1 d, |/ K
测量时间:最快2毫秒 7 f% ]* [  \: h7 R4 O1 D2 l1 L
精确度:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)   P& y' t. l, |" I
重复性误差*:小于1A$ V( @1 k/ L4 A$ E7 N
6 v4 ]3 \) M# A* U" P/ z" c( ^' X
产品应用:
3 x# s7 O5 \( T9 G* ?3 t半导体制造(PR,Oxide, Nitride..)
" n+ i( e/ I0 b- e( z, @液晶显示(ITO,PR,Cell gap... ..) ; v6 \& z: I1 y
医学,生物薄膜及材料领域等 " }3 B9 G2 t$ v1 M
油墨,矿物学,颜料,调色剂等 ' M* D( J& ~0 I+ v
医药,中间设备
5 i! z. h& A8 B" Q光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
3 M$ E1 E( e( B! Q+ l半导体化合物
' d$ Z5 z) x) X% q" V在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜 " H7 ^7 X8 {5 I  l6 ^0 O, F5 N/ S
非晶体,纳米材料和结晶硅
- Z% `# |: z! j9 @: m7 \9 R8 X: X' w% i" ~+ m& ~/ p$ ^# b
我们是北京燕京电子有限公司  
# _3 z) P! i% @1 N- j/ q如有兴趣,请联系 010-58237160  liusp@beijingec.com     msn:   po663340@hotmail.com
% A! {/ b3 d" O6 c我公司可以免费给您做样品测试!
+ r: [8 ]1 L( L, J/ f                  
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