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推荐可以直接测量薄膜反射率和透射率分光光度计

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发表于 2010-8-10 20:28:04 | 显示全部楼层 |阅读模式

9 x1 Z* D' {% v3 q4 p: C5 A" I1 O. @. p( G
一种可以同时测量薄膜反射率、折射率、透射率的光学薄膜测厚仪
7 _. i7 p, X; j4 t6 M& c/ \+ t产品特征:
' p! Z: B7 P2 z2 `0 g· 易于安装
% A( R! ?0 H% h1 v: F· 基于视窗结构的软件,很容易操作 " Z) s6 n, [! Z. d* J: a" q
· 先进的光学设计,以确保能发挥出最佳的系统性能 " n/ A8 S; f* q
· 基于阵列设计的探测器系统,以确保快速测量
6 O. M9 P" j3 V, o$ b* Z· 独特的光源设计,有着较好的光源强度稳定性 6 }, V$ M5 J8 x) }; I% s
· 最多可测量5层的薄膜厚度和折射率
! F9 L( l. D, D3 Y2 H· 在毫秒的时间内,可以获得反射率、透射率和吸收光谱等一些参数
: I* d1 k; i5 f; z3 V· 能够用于实时或在线的厚度、折射率测量 1 @) p2 b6 k. d( ]$ G8 W
· 系统配备大量的光学常数数据及数据库 , e' F; G: A& Q7 n9 P2 c& y! a! K
· 对于每个被测薄膜样品,用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型(EMA)测量分析; 7 }3 ]( o$ R1 H0 ~# X
· 可升级至MSP(显微分光光度计)系统,SRM成像系统,多通道分析系统,大点测量。
; Z1 f9 o1 H2 x4 }5 F4 f· 通过模式和特性结构直接测量。
( l* b9 u3 R$ I" H· 提供的各种配件可用于特殊结构的测量,例如通过曲线表面进行纵长测量。 9 C0 h; t8 ^# B% o% d
· 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。
$ S7 J+ E6 x! [5 [0 |# w
5 M! ^/ P1 Q+ }- ?  {系统配置 9 y# D" {- \& r
型号:SRT100
2 ]" [% M/ l6 t检测器:双通道CCD阵列的每个像素2048
5 e6 Y' d1 Z- g$ k光源:氘灯和高功率卤素灯
! J6 u2 {: o) g. `2 C6 x: [$ f光传输:光纤 + B1 ]  l. ?; |% u! D! b% a
载物台:黑色铝合金样品测量平台轻松调整高度,100mmx100mm尺寸 & D3 G) G2 L* G1 u0 N; k
通讯:USB 9 ]/ M0 ]6 T3 B- F
测量类型:薄膜厚度,反射光谱,透射光谱,折射率
( u' g% _$ }: _- e( x7 j, R: I软件:TFProbe 2.3
+ O$ T9 Z" ^  M电脑需要:常规配置   m$ I6 H/ r9 M; ?% J( v
电源:110 - 240伏交流电/ 50 - 60Hz的,1.5A 6 \+ V0 t; T# u# C. n+ S
保修:1年 5 V9 S0 W' r3 _# E" v  x

5 M' E$ D5 Q, x+ J产品规格
; Q# m5 ?. \8 s, L波长范围:250nm到1100 nm   Z- E7 X) ~1 L- Z* A- P9 _
光斑尺寸:500μm至5mm $ ]9 a4 S9 `6 g: X5 J- [
样品尺寸:100mmx100mm ! u2 L" ~: q& N* m
基板尺寸:最多可至50毫米厚 + I9 H( E5 A' n( t: v
测量厚度范围*:5nm-50μm
" `  Y4 y6 K6 z测量时间:最快2毫秒
; Z' l' f2 T3 b精确度:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较) - X5 R7 O& d/ ~! O
重复性误差*:小于1A/ Q7 `5 `  Q+ E: _& c  X9 _; U% A
# Q+ }' f* l  `
产品应用: 4 w( h1 k4 }1 I8 }7 o" p- Z
半导体制造(PR,Oxide, Nitride..)
- A% h2 d$ m7 O, f* _液晶显示(ITO,PR,Cell gap... ..) + e2 `% w: C- G; ?5 l7 `
医学,生物薄膜及材料领域等 : N) A7 o% s) H: D
油墨,矿物学,颜料,调色剂等
' q5 @: w9 t( n6 W0 q, v7 s* K医药,中间设备 5 A0 F! X& _6 J. ?: ?5 p+ \4 y
光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
8 K; W. l; C: J0 P" e半导体化合物
2 B$ k# f0 U4 V, G+ o5 ^% t在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜 ) M$ V% T2 X, K% t/ B2 O" t
非晶体,纳米材料和结晶硅
; s, e4 C& C+ O
5 ^# l- n2 t$ _3 w5 H0 u# m8 }4 ^我们是北京燕京电子有限公司  
3 M. G, R5 B6 w8 b# |: e) N9 O如有兴趣,请联系 010-58237160  liusp@beijingec.com     msn:   po663340@hotmail.com
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