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发表于 2010-8-11 04:05:01
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我们是北京燕京电子有限公司 联系电话 010-58237160 liusp@beijingec.com- I( G- b3 j% [1 I- {" T! p
" G, H# s' L* V+ B, E测量类型：薄膜厚度，反射光谱，透射光谱，折射率 8 r/ N& ^9 ` i" A, ^6 \) R
3 ?5 m) ^, F4 g" T2 o6 G( }9 G) {
产品规格 6 c4 [* x5 L+ p1 D' _
波长范围：250nm到1100 nm ' R+ H* j! p& r' `. M7 u' k! S% w
光斑尺寸：500μm至5mm
* r3 p6 S1 d8 j样品尺寸：100mmx100mm
4 ^3 V. f* j1 P' E' q基板尺寸：最多可至50毫米厚
0 u2 s8 \$ {8 n测量厚度范围*：5nm-50μm 0 X$ m B* J4 T0 T5 V0 J
测量时间：最快2毫秒
% j7 x! \# d; A+ P( k5 O精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）
# J4 P, P( _6 P+ R, l1 ~重复性误差*：小于1A8 s% O, P% y9 v8 W2 \3 R. U
% k8 q3 w7 d% E2 Q4 x p
产品应用: 4 \& ?! k9 C% s# b4 D# D
半导体制造（PR，Oxide, Nitride..)
% g$ z& ~2 k- q/ C1 C- s液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..）
+ d% p" t) I' |4 x8 Z$ e+ i医学，生物薄膜及材料领域等 ; f' Q. e3 R8 N) J5 E
油墨，矿物学，颜料，调色剂等
% W/ I, w) v0 Q" @! X1 e医药，中间设备 ! `# s7 f/ `4 R# q* Y Y) e7 S, S
光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
( @5 Q+ Q' X/ Z半导体化合物
$ M$ Y3 N& f4 f( s+ S# b在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
: Z2 B" {+ E/ k. H% d1 F* s非晶体，纳米材料和结晶硅 |
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