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发表于 2010-8-10 20:05:01
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我们是北京燕京电子有限公司 联系电话 010-58237160 liusp@beijingec.com
7 d* Y0 U# y& [
# B6 }6 O# S1 B6 d, M测量类型：薄膜厚度，反射光谱，透射光谱，折射率 7 q2 B2 g8 `5 u9 Z. K: @
+ z i9 V! g6 f% ~+ G0 E7 X* r: u- L产品规格 5 V+ F& |5 H+ e. \" R
波长范围：250nm到1100 nm ; _! m$ l# y/ J' S
光斑尺寸：500μm至5mm
' [ k# h7 z( y4 M# y$ X q6 E, P样品尺寸：100mmx100mm + g# v! [& k% L: m$ ]
基板尺寸：最多可至50毫米厚 ; E/ y0 H& |; X7 O K4 ]* z
测量厚度范围*：5nm-50μm 1 I- \% M8 C. V; X; a# j
测量时间：最快2毫秒 / H' f% R" t) a1 _$ i
精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较） 3 L2 G( o T; k' p, k
重复性误差*：小于1A
7 Y! w0 Y0 B& ~% a6 t8 n3 B7 M
5 }, j8 K4 M/ t产品应用:
5 I7 N3 n. O1 S$ F7 ^半导体制造（PR，Oxide, Nitride..)
4 z1 g+ R- I, G& X: }液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..） - ]* F c; V) ^! f
医学，生物薄膜及材料领域等 * i# ?9 g/ i7 V2 p
油墨，矿物学，颜料，调色剂等
0 q% a0 ~( ~/ f( o8 X9 F医药，中间设备
" u+ E+ f0 |3 |. Q! y9 ~光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
. E1 u, a+ L7 N! E H' z半导体化合物
L! j7 l2 Z8 C7 p在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜 , |- E7 f& j' X) g4 k
非晶体，纳米材料和结晶硅 |
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