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发表于 2010-8-10 20:05:01
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我们是北京燕京电子有限公司 联系电话 010-58237160 liusp@beijingec.com( s4 y& G+ Z/ e$ A
( T. u2 E# t# S* R. t测量类型：薄膜厚度，反射光谱，透射光谱，折射率 2 l$ W) ^9 j) l( ?/ |
# T7 d9 b! I: H
产品规格
8 G: f ?- f6 b/ Z6 d* a2 b. `波长范围：250nm到1100 nm
; x* D% t% k8 ] S光斑尺寸：500μm至5mm
$ f) F! \: W8 G: k @& B3 g样品尺寸：100mmx100mm * h0 r1 h" |4 C
基板尺寸：最多可至50毫米厚
; |9 k- [" [( Y" x测量厚度范围*：5nm-50μm
6 y0 c' K" y5 y1 G% O测量时间：最快2毫秒 0 f; Z. ^1 P4 {) A' A; S! m$ ]/ _
精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）
; s2 I/ x9 f5 T7 R重复性误差*：小于1A6 x& K3 |0 j, t
2 ^, Q: D& M$ Q/ H. ]5 d
产品应用: ' @/ p( n! q/ h- |
半导体制造（PR，Oxide, Nitride..) 4 g, R& z+ s; e
液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..）
! A9 S4 ?- _+ \. N9 k9 p4 D医学，生物薄膜及材料领域等
2 g* S7 `* f; J& s6 r' v# S! Y油墨，矿物学，颜料，调色剂等 _# j( m, b1 D' @2 t
医药，中间设备 1 }4 t- W" ]6 g
光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
% { `0 m# n$ v3 h# m. j9 u半导体化合物 " n9 i" s* B3 Y. t0 R8 }
在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜 ' ~. a; i r( `- Q# z8 M0 s
非晶体，纳米材料和结晶硅 |
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窥视卡
雷达卡
提升卡
置顶卡
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