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发表于 2010-8-10 20:05:01
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我们是北京燕京电子有限公司 联系电话 010-58237160 liusp@beijingec.com x! `# q7 T6 y. y+ \) X0 }
7 I, @9 l2 \/ P测量类型：薄膜厚度，反射光谱，透射光谱，折射率 1 g2 F( d" `# `3 A; F3 `
: }3 |# k+ x; C A/ ?8 V
产品规格
' O+ E; S. b2 @. N7 [; n. h. O3 ^波长范围：250nm到1100 nm
+ f$ v. @& M% v/ k$ X# S' D光斑尺寸：500μm至5mm
3 \7 D+ I+ L u( K4 f* _$ Q" d样品尺寸：100mmx100mm
% |+ Q7 d/ v4 j a1 o+ e& I J基板尺寸：最多可至50毫米厚
+ L" L0 \: L* i* e测量厚度范围*：5nm-50μm
' h* {+ e, ]! h) z: W" N测量时间：最快2毫秒 1 Y7 N0 y& E8 g
精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）
9 f( `& {5 `1 P3 F( b$ `& w5 ~重复性误差*：小于1A0 k6 Z/ f& A% R% ~3 g+ ~% G
3 Z- H8 q# V7 E6 R. M$ e产品应用: / C9 \. w! v t) g
半导体制造（PR，Oxide, Nitride..) - K$ Z6 d! X6 M( l, E/ ^
液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..）
4 }6 T1 a0 ]# t; h医学，生物薄膜及材料领域等 ' x2 C# o5 o/ V/ Z. Z3 i& H
油墨，矿物学，颜料，调色剂等
9 v% l* A: ^) d医药，中间设备
0 e/ g; r) Q+ u( L$ ^/ q光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. ' g! p |/ \' F6 x
半导体化合物 4 `. W8 e% c f% i
在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜 4 G" _2 z: A. k _* y$ S0 N. h
非晶体，纳米材料和结晶硅 |
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窥视卡
雷达卡
提升卡
置顶卡
沉默卡
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