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发表于 2010-8-10 20:05:01
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我们是北京燕京电子有限公司 联系电话 010-58237160 liusp@beijingec.com9 }1 ^# Q7 @/ M
0 O3 l2 O( |# g
测量类型：薄膜厚度，反射光谱，透射光谱，折射率 7 ]' P# x; j# N
3 X% B, o( |; D! D% F
产品规格 2 I$ O% W+ d: V9 Y
波长范围：250nm到1100 nm 3 M/ S, W3 _* b6 b0 ~" |' V0 r6 Q: }
光斑尺寸：500μm至5mm 1 T& y5 n# S6 ]* X5 d3 E
样品尺寸：100mmx100mm
( z5 L0 \/ H8 _5 C G基板尺寸：最多可至50毫米厚
' x9 F4 P0 t1 O+ D- g, P测量厚度范围*：5nm-50μm , J+ n5 W( \3 B* d5 ~
测量时间：最快2毫秒
& Y! g/ n" j$ r# P( z精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较） 8 c: ^6 h! k. b8 r3 y# I) {
重复性误差*：小于1A
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+ U/ I# s. o0 k! n2 b产品应用: 2 e( Y3 @6 i1 }1 b( _
半导体制造（PR，Oxide, Nitride..)
+ D; N. x! e4 l3 m1 U5 d M液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..）
5 q2 D0 T0 B0 I0 `0 ?4 h: N6 U医学，生物薄膜及材料领域等
" b y$ q9 i- V D5 y油墨，矿物学，颜料，调色剂等
) R# E& a& H. Z- G8 ~医药，中间设备
5 c& ` H" n3 E. l4 C光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. : B$ n- J. v! g5 H0 w
半导体化合物 1 y& I/ n! _4 b+ R, Q% K( [( Z+ F+ I$ ]
在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜 # s, }2 M$ V; @) ?& ^
非晶体，纳米材料和结晶硅 |
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