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发表于 2010-8-10 20:05:01
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我们是北京燕京电子有限公司 联系电话 010-58237160 liusp@beijingec.com" J' K; U2 Z7 f8 H+ a6 F
& ]! U" K7 i2 h* M" j9 J测量类型：薄膜厚度，反射光谱，透射光谱，折射率
- Z! e0 ]+ d5 N8 s" ?( O. g! @- v+ V; ?
产品规格
0 f& P% u$ m y; o1 \0 y0 a; j" B) w波长范围：250nm到1100 nm
/ d" n/ b- q: U! C1 m光斑尺寸：500μm至5mm ( ]% o6 k5 Q: L/ w/ }: ^; y1 h
样品尺寸：100mmx100mm
* K9 m0 Z3 C" Z S基板尺寸：最多可至50毫米厚 3 t) \- [. j i3 n6 b$ v
测量厚度范围*：5nm-50μm Z1 F; Z, J3 |( I7 s# m
测量时间：最快2毫秒
9 T5 f$ T2 {# F" W2 ^9 L. k% O精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）
( `) G5 r$ K5 `! z' U* g重复性误差*：小于1A9 e2 W- `5 u+ m& h
K' B- [: j2 F1 ~
产品应用:
/ m1 v8 F' U7 n; U半导体制造（PR，Oxide, Nitride..)
5 Z7 @) j6 K: ^7 Y8 d液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..） $ A2 \; V9 p9 U; C5 K
医学，生物薄膜及材料领域等 / j) R V3 l9 V4 P: l' L8 x
油墨，矿物学，颜料，调色剂等
5 W) F* P+ x6 a5 B医药，中间设备 8 |/ D/ `3 C+ I' G7 c R
光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. / D3 }% |$ |4 r, u4 U
半导体化合物
8 t2 n5 V, S3 x4 C) K* r在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
# |' f) }1 `% u5 L2 E非晶体，纳米材料和结晶硅 |
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