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高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品, M3 }- q: {6 d) M3 `* }
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者," M8 f4 q% _$ O. V( b6 P
2 p: O3 I4 E9 x/ S& _其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。
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7 {: z I3 j' d% c1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件
7 Q, q0 ~2 g# n: Z% e5 X0 t9 ?, ~% C3 n. ^; h9 b
应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。7 K& m1 D! s, g) I' k9 X
+ Z( Y7 ~* r( E# O; g$ ~( J. C
2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. b C- J$ A: G: O, A; ^% g
$ [* J8 [& o! | R0 u1.多层厚度(1 纳米 到 250 微米)
( K0 P% T3 u; ^# B. W2.折射率n! a7 l/ c7 W6 A+ o* P
3.吸收系数k3 r1 i: I q$ o5 d3 _5 T# ~
4.双折射率
\& w3 E$ @+ [6 ], O5 G5.能隙(Eg)
$ h6 G X: F' D% i2 f5 S6.表面粗糙度和损伤7 K2 I1 S( c$ T; @' n# k8 N# w% o
7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式); b5 u7 ]: l4 O2 V
8.薄膜温度特性
/ I" P. g9 v, _( r9.晶元曲率和薄膜耐压性
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应用实例,上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。" J, J# { L# W( E }$ C# @% [! z
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. k, j& a- i; K, O1 U8 Y8 o8 W详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: {5 P) {- A% O# e- e9 i$ d
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生
$ R g3 C$ s$ l+ e邮件:wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com" A9 C1 y2 j8 ^& c, S8 @, p
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