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高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品* F- L3 y3 S1 z1 ~1 D6 |( Z
) C J; V: ?- T美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者，& j& C. m1 c8 A( C2 Z( d& o
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其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。
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1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件
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: V! U" N, k% D# F- S- m应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。
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5 b6 t$ f( o0 m* n9 N7 ~2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求.
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1.多层厚度（1 纳米 到 250 微米）
5 L/ G6 g% M! S8 h6 F' `2.折射率n
' b! J6 N$ l. X5 g; {3.吸收系数k
9 f- S, ?' ?2 f" _1 u7 z2 H4.双折射率' P$ }* b/ b' T7 g- g0 C
5.能隙（Eg）3 Z h# i- v; P1 V2 |: \' F
6.表面粗糙度和损伤
' F4 v- w& o1 B3 y+ h8 r$ I7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式）
; Y: c+ b! u* c8.薄膜温度特性
- I5 r; P8 A5 Z6 K% P+ j! p9.晶元曲率和薄膜耐压性7 z' _$ @6 ]( L' z" e8 A: _
1 _) ~/ s3 s; J- M5 o0 ^) G
应用实例，上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。0 Q% T4 P* W/ g4 I8 f! U
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详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下：
) J* t" b1 g. D+ z+ R电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生6 C2 ]# u d: X$ E, g# X
邮件：wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com, O2 ^/ a3 g3 n8 l* _0 k2 l
网址：http://www.emdeccn.com |
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发表于 2010-7-20 15:07:11
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