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高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者，) w0 J: d/ q' I$ a3 f9 L3 N
* R0 l$ c& A9 v; R9 I q" h
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。3 X. Q/ a: S, s. K) o
4 k$ h! u, V7 M5 X3 }6 G0 m
1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件7 L% a/ O H; G8 M1 k. w7 G
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应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。
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2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求.
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1.多层厚度（1 纳米 到 250 微米）
% I5 @2 ~& a5 Z$ `2.折射率n% ?1 l4 h' q$ }2 |/ m$ \; }
3.吸收系数k+ x4 P/ s3 G) v! h ^( T
4.双折射率
. J8 Q1 ?5 f3 |# }5.能隙（Eg）) ^& q# W/ e4 [
6.表面粗糙度和损伤 l. d6 A6 U" r# R8 W$ t" c
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式）7 `* Q7 |, w% q+ u5 a8 R* U
8.薄膜温度特性3 ]7 d" t, w: c( d7 x! A, c
9.晶元曲率和薄膜耐压性2 r2 e# `% |' Z& E8 S5 l5 `3 J
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应用实例，上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。: O* A8 I4 m* v w+ L' a# S
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: M" `1 _1 S+ X0 S: W详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下：
8 c3 C9 ], t+ \# C电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生5 B( O& x% h8 d6 C
邮件：wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com
$ {: ~4 `) e" ]+ g* V网址：http://www.emdeccn.com |
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发表于 2010-7-20 23:07:11
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