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高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者，
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其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。/ Z5 O0 m( d4 f O' V
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1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件
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应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。/ F$ c! L" }! H: q
0 t, F3 J, ~7 D: N7 d; p1 p
2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求.# S; \1 |7 k5 O- ~# y
8 d7 N. n& }8 N2 \1.多层厚度（1 纳米 到 250 微米）8 i' A8 |5 N* X/ p' U% B4 P( r
2.折射率n# E% }- X# J; J& o C
3.吸收系数k1 v& J0 e6 O& k6 ~1 y2 ]6 Z8 g$ p
4.双折射率2 q3 h8 H. N% K# T7 D
5.能隙（Eg）
1 X4 v8 m1 D2 ?' q5 l4 n9 \6.表面粗糙度和损伤# v3 S# \, q" r, r! {" _+ R$ w
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式）
9 b0 Q* r: N# v$ X8 J$ J1 G8.薄膜温度特性$ E8 C- a( v0 i8 h' [ f! h
9.晶元曲率和薄膜耐压性
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" s* p" U" L: l& @- |应用实例，上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。 U% z. t/ S' J8 z* h
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2 F& J, ]! E) R+ z* C: ]详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下：, a0 w; I; Z: n7 _1 J
电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生
3 K; t7 k: ?) }' |( k邮件：wangdongmei@eccn.com / benchan@eccn.com1 c" j+ @% N) p
网址：http://www.emdeccn.com |
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发表于 2010-7-20 15:07:11
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