黑色膜问题

fanyushan

我在中频磁控溅射机上（偏压和磁控电源全为中频），基底为抛光的304不锈钢片，厚度1mm左右。做CrC黑色膜，Cr靶+乙炔+氩气。
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1.发现膜层总是黑中带蓝或黑中带黄色，
8 P  ^  l) m& ?8 Q$ Q1 u+ S& r2.另外还发现膜层发雾，不明显，但是和标样一比就看出区别来了，
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& Y: C; t: I' B& k; `3 A9 w如何能做到正黑色?我调整了磁控电源的电流和气体，没能找到合适的参数.
. w9 Q; m# [  K& u! i9 p" O2 B发雾是不是Cr打底时，功率大导致的？

哪位帮忙分析一下

caiyongzhi

调整下膜层厚度看看，
发雾可能是偏压导致基片粗糙