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我在中频磁控溅射机上（偏压和磁控电源全为中频），基底为抛光的304不锈钢片，厚度1mm左右。做CrC黑色膜，Cr靶+乙炔+氩气。
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. _3 r& V+ Z. n1.发现膜层总是黑中带蓝或黑中带黄色，8 r: o5 }% d. o3 ]# S: F
2.另外还发现膜层发雾，不明显，但是和标样一比就看出区别来了，% z9 m& v# U# t& K8 S6 P$ a
" f: c/ `- ^! U# z2 ~
如何能做到正黑色?我调整了磁控电源的电流和气体，没能找到合适的参数.) s, v- T) @; |3 o0 _/ _
发雾是不是Cr打底时，功率大导致的？
9 b9 F, u/ S$ o2 l" B6 {7 ^. o9 T+ [% _% U
哪位帮忙分析一下 |
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发表于 2010-7-1 22:31:25
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