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2 @% I5 H4 ]: Y) ?* i/ w机器现位于广东省中山市,
: Z! C: o8 K+ C- m! g7 p. W# y6 e配置如下,7 s+ n+ P. _% g6 x; v% U; e3 y$ e
镀膜机配置(肇庆东荣)
/ A2 c# c @; yNo 名称 规格 数量& X V$ ?6 e, y
1 真空室 1100mm ) k6 Q7 p \6 ]
2 电子枪 270度e型 1 9 ?) F* W6 p. R
3 坩埚 位 4
% y, i) O: W$ {* _' S S4 离子源 霍尔 1 : n2 S$ @* I0 L$ g+ C8 c. y, ?
5 光控 个 1
! d3 _- g9 e! u5 n6 阻蒸 个 1 , {$ h5 d3 U% F0 a' Z
7 扩散泵 个 1 8 ~! u+ P$ u" \4 b: e
8 罗茨泵 个 1 9 ?' M$ c4 x1 }* `0 V
9 机械泵 个 1
; E$ T# i, `7 q+ ]10 伞具 个 4
9 w v& g% b) |0 @# b) |2 V11 空气压缩机 个 1
/ s; D7 g5 t S( m+ K Z9 o12 水泵 个 1
8 j6 v" N2 l& [! \7 j13 冷却水塔 个 1
- ]3 ~* `3 Z( F+ d14 维持泵 个 1 |
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