1300 型镀膜机作业手顺书

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一、开机
1、打开总电源。
" E- H9 K5 P3 l" |) m: m2、打开进水阀。
, X: A5 D: v+ ~5 F% l  Q/ q* l3、打开进气阀门（进水阀旁）。
- A5 G7 c  ^, s# A! t8 L4、打开电控柜上方进气阀门。
7 M2 S4 h$ Y' a& `) Y7 d5、确定已有外部循环水，打开冷水机水泵开关（既电源开关）。
6 f1 Z5 `/ A/ S0 {/ u6、再开冷水机压缩机开关。
7、打开电控柜内电源开关。
) v# h: y: g0 J8、将电控柜面板处晶控仪打开。
9、检查水、电、气是否就绪，然后将电控柜下方机组状态旋钮旋为自动，按绿色“开机”按钮，
& o- m. Y2 A3 {$ d机组维持泵、扩散泵加热器、维持泵相继打开，机组开始加热，加热80 分钟后，机组可正
* A* q& Q( O& ^( u/ x2 O- ]常工作。
% D5 G  R8 b- x- _10、 按绿色“取件”按钮，三声警报后，充气阀打开，对机组充气，几分钟后，真空室门开。
二、镀膜
! J# z+ Q5 O2 }1、用铜丝刷、三角刮刀、吸尘器对坩埚及坩埚周围进行打扫，将电子枪挡板送喷砂处理。护板
等更换见《护板更换周期管理》。
2、将坩埚衬套作喷砂处理后，用吸尘器将附着砂粒吸掉，并用酒精擦拭，加镀制零件所需膜料，
并将衬套放入所对应坩埚位置。
' v+ W( s& ^$ o8 L  o  u3、查看电控柜上MDC360 晶控仪上晶片寿命值，若晶片寿命〈97，则更换晶片。
4、确定上述操作无误后，双手提伞片把手，将备好零件放于真空室旋转架上，并检查伞片是否
4 ^' ]/ T  S# w) ?- o/ i8 Q放到位，有无变形，所对应比较片是否安放。
* B! e& R+ ?1 o5、上述过程完成后，关真空室门，确定电控柜上“室门”指示灯点亮后，说明真空室门已关闭。
6、按绿色“取件”按钮，充气阀关闭，按绿色“真空”按钮，机组开始抽真空。
7、将旋转架旋转打到7 转/分。
8、抽真空过程中，记录机组各数据表。
* I6 }6 u8 Z- ?9、真空到8.0*10-3PA 后，可对膜料进行手动预熔。（附：手动预熔操作）。
4 u4 c" W! ~* y10、 在恒温和设定真空度到达后，将旋转架旋转打到20 转/分。
11、 打开质量流量计开关，调节进气量，根据各膜料充氧不同，维持不同真空度。
/ }/ P7 k) |! f3 H; @: z) k12、 打开电子枪扫描控制电源。
13、 按绿色“灯丝“按钮，调节“预置”按钮，使灯丝电流为0.5A，电压应在40-50V 间（如
电压低于40V，考虑更换灯丝）。
14、 按手持遥控盒上“高压”按钮，打开电子枪高压。
3 G& h& e! }; i+ C+ U, b$ v; g% l0 ]7 ~15、 按MDC360 晶控仪面板上“START”按钮，在程序单中选择镀制零件所需程序，再按
; Q8 h6 [& C/ Z3 O+ m“START”，开始自动镀制。
# `! \1 n4 o) A" |! Q16、 自动镀制开始时，应用手持遥控盒上X、Y 位移、扫描幅度旋钮调节光斑，使之处于膜
2 c% ~. K7 l- j; u料中心及相应的扫描面积。
# e) _+ \( E/ N7 a, j17、 镀制过程中，应监视光斑变化，并注意电子枪灯丝电流、高压、晶片值、充氧状态等参
数变化情况，如有异常，应立即按MDC360 晶控仪上“ABORT”按钮，停止蒸镀，根据情
况做相应处理。
18、 在镀制MGF2 膜料时，应关闭充氧。
1 k" K. k- [( }0 f9 A6 U19、 蒸镀完毕，先按手持遥控盒上“高压”按钮，关闭电子枪高压。
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20、 将X、Y 扫描旋至0，关闭电子枪扫描电源。
5 e1 t  S9 @0 _! ?% J- Y21、 将“灯丝预置”旋至0，按“灯丝”按钮，关闭电子枪灯丝电流。
4 T  }1 {- M" u6 R; t22、 按MDC360 晶控仪上“REST”按钮，使晶控仪复位。
23、 将旋转参数调节为7 转/分。
2 j0 I% F, p# P# X" _+ O24、 按“镀膜结束”按钮，镀后恒温时间结束后，关闭烘烤，关烘烤后时间到达后，关机组高阀，进入真
6 F$ _5 i' q; C, f空室冷却阶段。
25、 真空室内温度约为220℃后，按“取件”按钮，三声警报后，对真空室进行充气，充气完毕，真空室
门开（后继作业开始抽真空时，只需按“取件”按钮即可），进行取件作业。
三、 关机
+ _- |9 U: z; c2 a; b9 y4 T; }9 b1、 关真空室门，按“取件“按钮”对真空室开始抽气，底真空信号亮后，按“真空”按钮，机组停止抽气，
) t7 c% B' b, N- T再按“开始”按钮，机组进入扩散泵冷却阶段，1 小时后，维持泵、维持阀将自动关闭。
& M" q" b( B+ a' j8 _- `# r2、 关闭电控柜面板上各仪器电源。
8 _  Z; R6 ]% m* Z  j+ B3、 关闭电控柜内电源。
4、 关冷水机压缩机，再关冷水机水泵。
5、 关电控柜上方进气阀，再关总进气阀。
6、 关进水阀。
7、 关总电源。
4 s: r4 X7 @' ~4 N附：手动预熔操作
1 c. i9 G& k! P$ \1、 真空度为8.0*10-3PA 时，可进入手动预熔操作。
& `1 U2 k, t" ?; u" x9 o& [+ W2、 将电子枪控制旋钮调节到“手动”状态。
: c, \0 e  J$ n1 e9 k! s3、 打开电子枪扫描电源。
4、 按“灯丝”按钮，调节“灯丝预置”为0.5A。
1 `* S, I4 S+ D* C: N5、 按手持遥控盒上“坩埚”按钮，使坩埚转到所要预熔膜料的位置。
6、 开遥控盒上“高压”按钮。
7、 利用遥控盒上X、Y 位移、扫描幅度调节旋钮，控制光斑在膜料上做圆周运动，调节“束流”按钮逐渐
加大电子束流，对膜料进行预熔。
" i; Q" O& V' A# d% n8 h! ?6 k# U5 f8、 预熔完毕，依次关闭电子枪高压、灯丝预置、灯丝电流，并将控制旋钮调节到“自动”状态。

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推断不出到底是什么型号机器