1300 型镀膜机作业手顺书

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一、开机
# b! I, B9 j0 S( O. O1 B+ R1、打开总电源。
+ P4 F1 a3 `7 [5 s9 o. E1 e$ E2、打开进水阀。
3、打开进气阀门（进水阀旁）。
4、打开电控柜上方进气阀门。
# F* V/ s4 B( e5 `: }5 ]* P5、确定已有外部循环水，打开冷水机水泵开关（既电源开关）。
/ A# v: F& M. D" m6、再开冷水机压缩机开关。
# E& ]/ Q$ T6 F( ~2 v7、打开电控柜内电源开关。
. P- T. ^* }1 @8 s  L; N8、将电控柜面板处晶控仪打开。
9、检查水、电、气是否就绪，然后将电控柜下方机组状态旋钮旋为自动，按绿色“开机”按钮，
机组维持泵、扩散泵加热器、维持泵相继打开，机组开始加热，加热80 分钟后，机组可正
# \1 l8 i; N, w4 A5 s4 E常工作。
3 I, I4 X: }! O8 J: U2 i10、 按绿色“取件”按钮，三声警报后，充气阀打开，对机组充气，几分钟后，真空室门开。
2 k/ `4 p: x: q: L! ^& V* L# \二、镀膜
2 T! x! C" |$ W; p9 l$ X2 n4 \1、用铜丝刷、三角刮刀、吸尘器对坩埚及坩埚周围进行打扫，将电子枪挡板送喷砂处理。护板
; Q. B0 I2 v  r* u) K6 H7 y等更换见《护板更换周期管理》。
2、将坩埚衬套作喷砂处理后，用吸尘器将附着砂粒吸掉，并用酒精擦拭，加镀制零件所需膜料，
# `; l$ m" n, p! Q( T$ L: \并将衬套放入所对应坩埚位置。
( }. {! i7 f9 m" Y3、查看电控柜上MDC360 晶控仪上晶片寿命值，若晶片寿命〈97，则更换晶片。
4、确定上述操作无误后，双手提伞片把手，将备好零件放于真空室旋转架上，并检查伞片是否
放到位，有无变形，所对应比较片是否安放。
5、上述过程完成后，关真空室门，确定电控柜上“室门”指示灯点亮后，说明真空室门已关闭。
1 l4 x/ [/ G; S. ]/ `) d" M$ ^6、按绿色“取件”按钮，充气阀关闭，按绿色“真空”按钮，机组开始抽真空。
7、将旋转架旋转打到7 转/分。
+ o+ @# \  k4 B' d$ w8、抽真空过程中，记录机组各数据表。
9、真空到8.0*10-3PA 后，可对膜料进行手动预熔。（附：手动预熔操作）。
; b6 }. N: y0 G1 |10、 在恒温和设定真空度到达后，将旋转架旋转打到20 转/分。
11、 打开质量流量计开关，调节进气量，根据各膜料充氧不同，维持不同真空度。
- j) F" B! C: j  C5 i; d8 O. `' b12、 打开电子枪扫描控制电源。
13、 按绿色“灯丝“按钮，调节“预置”按钮，使灯丝电流为0.5A，电压应在40-50V 间（如
电压低于40V，考虑更换灯丝）。
14、 按手持遥控盒上“高压”按钮，打开电子枪高压。
; f' N5 q# e- t8 U7 l: b5 o15、 按MDC360 晶控仪面板上“START”按钮，在程序单中选择镀制零件所需程序，再按
& n' W7 K0 p- A& ]“START”，开始自动镀制。
1 k/ H' N  `8 u$ z+ F16、 自动镀制开始时，应用手持遥控盒上X、Y 位移、扫描幅度旋钮调节光斑，使之处于膜
8 E+ s) c- ~, L% r. C) g料中心及相应的扫描面积。
17、 镀制过程中，应监视光斑变化，并注意电子枪灯丝电流、高压、晶片值、充氧状态等参
数变化情况，如有异常，应立即按MDC360 晶控仪上“ABORT”按钮，停止蒸镀，根据情
况做相应处理。
; t% D3 |) e, I18、 在镀制MGF2 膜料时，应关闭充氧。
19、 蒸镀完毕，先按手持遥控盒上“高压”按钮，关闭电子枪高压。
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20、 将X、Y 扫描旋至0，关闭电子枪扫描电源。
21、 将“灯丝预置”旋至0，按“灯丝”按钮，关闭电子枪灯丝电流。
22、 按MDC360 晶控仪上“REST”按钮，使晶控仪复位。
23、 将旋转参数调节为7 转/分。
24、 按“镀膜结束”按钮，镀后恒温时间结束后，关闭烘烤，关烘烤后时间到达后，关机组高阀，进入真
空室冷却阶段。
- x' ?7 ~" W  n- v1 C25、 真空室内温度约为220℃后，按“取件”按钮，三声警报后，对真空室进行充气，充气完毕，真空室
门开（后继作业开始抽真空时，只需按“取件”按钮即可），进行取件作业。
三、 关机
6 t+ ~" g. W' U1、 关真空室门，按“取件“按钮”对真空室开始抽气，底真空信号亮后，按“真空”按钮，机组停止抽气，
再按“开始”按钮，机组进入扩散泵冷却阶段，1 小时后，维持泵、维持阀将自动关闭。
+ ^" W, y2 j  `8 C% B# n- I2、 关闭电控柜面板上各仪器电源。
3、 关闭电控柜内电源。
4、 关冷水机压缩机，再关冷水机水泵。
5、 关电控柜上方进气阀，再关总进气阀。
6、 关进水阀。
7、 关总电源。
附：手动预熔操作
+ P3 P- ~7 O' S9 M% @7 j+ M# m1、 真空度为8.0*10-3PA 时，可进入手动预熔操作。
2、 将电子枪控制旋钮调节到“手动”状态。
& V+ j+ z2 d5 {+ b0 l. T( i3、 打开电子枪扫描电源。
; {! [! G: K5 i$ ?; Q: D  V2 y4、 按“灯丝”按钮，调节“灯丝预置”为0.5A。
5、 按手持遥控盒上“坩埚”按钮，使坩埚转到所要预熔膜料的位置。
6、 开遥控盒上“高压”按钮。
7、 利用遥控盒上X、Y 位移、扫描幅度调节旋钮，控制光斑在膜料上做圆周运动，调节“束流”按钮逐渐
加大电子束流，对膜料进行预熔。
% G# t8 Y0 Z) l' P: Q1 t8 Q! A( m$ B8、 预熔完毕，依次关闭电子枪高压、灯丝预置、灯丝电流，并将控制旋钮调节到“自动”状态。

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推断不出到底是什么型号机器