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[薄膜文献] 物理气相沉积法制备薄膜的内应力形成机理及测量方法

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发表于 2010-5-15 22:56:57 | 显示全部楼层 |阅读模式

物理气相沉积法制备薄膜的内应力形成机理及测量方法

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