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光学薄膜论坛» › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › 靶材纯度

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[求助] 靶材纯度

发表于 2010-5-5 03:40:03 | 显示全部楼层 |阅读模式

各位大侠，你们好！

我想在亚克力上做不导电金属膜（ncvm），在上面再加一层防护膜TiO2，TiO2用中频磁控反应溅射，那么，金属Ti靶，多高的纯度合适？

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发表于 2010-5-5 04:40:32 | 显示全部楼层

至少99.9吧,主要看你的要求了

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