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[求助] 电子枪蒸发si的参数？

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发表于 2010-3-25 20:24:02 | 显示全部楼层 |阅读模式

各位大侠，我想在Cu片上蒸发得到多晶硅，
请问，用电子枪蒸发的话，电流和蒸发速率多少合适。电子枪电压是7000V的。
非常感谢

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楼主| 发表于 2010-3-26 21:34:41 | 显示全部楼层

怎么没有解答呀，呜呜！

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