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光学薄膜论坛» › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › 电子枪蒸发si的参数？
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查看: 1236|回复: 1

[求助] 电子枪蒸发si的参数？

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发表于 2010-3-26 04:24:02 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位大侠，我想在Cu片上蒸发得到多晶硅，
" f; c% R2 J! t' G" E请问，用电子枪蒸发的话，电流和蒸发速率多少合适。电子枪电压是7000V的。9 I: C, L7 M# d2 Y
非常感谢
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 楼主| 发表于 2010-3-27 05:34:41 | 显示全部楼层
怎么没有解答呀，呜呜！
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