请问镀膜前的清洗问题

wang561117 · 发表于 2010-3-3 20:26:47

实验室磁控溅射设备石英玻璃上镀金或铜附着力总是不好加了Cr层也不太好加了cr后又加了ni 还是不好感觉是cr与基地就附着不好不知怎样清洗才好，之前用洗涤剂洗，后丙酮泡，酒精泡，吹风机风干，上卡具。看到很多高手说要弱酸浸一下，但是浸后一个一个上了卡具，这么长的时间，表面不就没有起到活化的作用了么，请教高手指点啊！

gds · 发表于 2010-3-3 23:23:31

是不是要调整工艺参数？如溅射功率。。。

gameboykk1 · 发表于 2010-3-14 19:50:32

清洗是门艺术

1985120 · 发表于 2010-3-14 20:21:10

对，你可以先拿一片试试是不是清洁度的原因，然后再下结论，在想对策。

95489548 · 发表于 2013-9-4 14:21:26

95489548 · 发表于 2013-9-4 14:23:46

95489548 · 发表于 2013-9-4 14:24:23

27676995 · 发表于 2013-11-8 17:02:03

caiqiwen208 · 发表于 2014-10-27 13:38:18

用超声波清洗一下

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