镀膜时，样品表面不与夹具平行会是什么样子？谢谢。

stonetiny · 发表于 2010-2-23 02:41:54

目前在镀膜工艺中，遇到一个情况，即：双离子束溅射时，样品表面为倾斜的（不与行星盘平行），镀1064nm增透，这样会是什么样子，有人遇到过吗？谢谢，请多多指教。

gds · 发表于 2010-2-23 02:45:25

是spector镀膜机？
样品表面为倾斜的是不是对均匀性有点影响？

zitong · 发表于 2010-3-1 14:09:56

我觉得也会对薄膜的均匀性造成影响

95489548 · 发表于 2013-9-4 14:24:55

27676995 · 发表于 2013-11-8 17:01:32

lzh1234 · 发表于 2014-8-16 20:39:56

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[求助] 镀膜时，样品表面不与夹具平行会是什么样子？谢谢。