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敏感薄膜的制备技术

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发表于 2010-2-15 20:22:16 | 显示全部楼层 |阅读模式
【标题】敏感薄膜的制备技术
. `9 l+ I1 A$ K9 [+ z【作者】高凯 张玉赋7 |2 N6 e5 M6 O1 f/ g% A
【关键词】敏感薄膜 制备技术 薄膜传感器 溅射成膜工艺
2 h% z- o" D( O' O( v: s+ N. }【刊名】江苏科技信息 1990-10-3- e0 A/ _. H; V  @4 r; l' A
【ISSN】1004-75305 @7 j% g) C5 J8 F
【机构】不详: S9 z0 S" n5 F1 u# @( {0 ?2 \" q4 G
【摘要】

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longmin

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发表于 2010-2-16 01:46:58 | 显示全部楼层
謝謝樓主* N- _( X% u+ c0 Z2 g  x
    
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