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[转贴] 薄膜制备新技术

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发表于 2010-2-15 20:20:57 | 显示全部楼层 |阅读模式
【标题】薄膜制备新技术3 [6 \) B! n: K6 v" a3 g. P) b
【作者】张佐兰4 Y# t) u$ T5 E5 z2 _0 B! A
【关键词】薄膜制备 硅膜 电化学腐蚀
' L8 L8 d5 ]/ T7 s& q7 K6 J【刊名】固体电子学研究与进展 1990-10-3  R8 L) H+ y% f* v& g  }
【ISSN】1000-38194 X9 ^" F9 p& W( Q
【机构】不详
& `* c# i5 l1 S( G. v【摘要】

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longmin

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发表于 2010-2-16 01:45:22 | 显示全部楼层
謝謝樓主
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