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光学薄膜论坛»论坛 › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › 有关ITO膜层的信赖问题

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[求助] 有关ITO膜层的信赖问题

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积分: 45

发表于 2010-1-19 16:19:18 | 显示全部楼层 |阅读模式

向论坛里各位大虾请教。为什么我做出来的膜层不能耐6%HCl溶液？
工艺为常温下磁控溅镀，镀出来的玻片没有经退火处理，方阻在800欧左右。

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楼主| 发表于 2010-1-19 18:23:34 | 显示全部楼层

顶起，急寻高手帮忙

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积分: 404

发表于 2012-10-31 05:41:11 | 显示全部楼层

300-400度之间，经过退火1小时后，方阻值能降低不少的。

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积分: 106

发表于 2013-11-8 17:07:21 | 显示全部楼层

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