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光学薄膜论坛» › 薄膜工艺 › 薄膜工艺 › 有关ITO膜层的信赖问题
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查看: 1838|回复: 3

[求助] 有关ITO膜层的信赖问题

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发表于 2010-1-20 00:19:18 | 显示全部楼层 |阅读模式
向论坛里各位大虾请教。为什么我做出来的膜层不能耐6%HCl溶液？
. m9 k$ y4 Z* U工艺为常温下磁控溅镀，镀出来的玻片没有经退火处理，方阻在800欧左右。
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 楼主| 发表于 2010-1-20 02:23:34 | 显示全部楼层
顶起，急寻高手帮忙
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发表于 2012-10-31 13:41:11 | 显示全部楼层
300-400度之间，经过退火1小时后，方阻值能降低不少的。
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发表于 2013-11-9 01:07:21 | 显示全部楼层
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