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脉冲激光辐照TiO_2/SiO_2薄膜的热效应
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' ]; I2 K `, I4 E- R【会议录名称】 中国工程物理研究院科技年报(2008年版) , 2009 年
0 t, K( v7 e7 ]* I# n6 F" k$ J5 TAnnual Report of China Academy of Engineering Physics
: ^" [2 s! F# { z& x【作者中文名】 周维军; 袁永华; 桂元珍; 刘海淘;
) H0 v7 ]! d1 B( i! c* D【学会名称】 中国工程物理研究院科技年报 4 L5 G9 }1 \" n5 E7 ^
【论文摘要】 <正>用1.06μm单脉冲激光辐照TiO_2/SiO_2薄膜,利用得到的综合参数K来计算不同能量下单脉冲激光辐照薄膜产生的温度场和热应力场,并对计算结果进行分析,获得了温度场和热应力场在激光辐照过程中的变化过程及热应力在脉冲激光辐照薄膜过程中起主导作用。 |
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