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[求助] tfc 下如何将front layer 和back layer 对应起来

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发表于 2009-12-29 22:49:52 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位大侠,本人在做双面AR,为了生产的方便,希望在优化时,front layer和 back layer对应起来,
) v! R/ H/ L- \5 C, c$ c' @7 I; p
( Z4 t9 H2 t& r# W. I: a也即,在优化时,对应膜层厚度按相同比例变化,
# c  s, f) l: ?! `7 z# k8 g, o2 G9 M& r; U
结果是基材两侧的第一,第二,第三等膜层光学厚度和材料分别相同。5 E" f/ D% b5 O# y( }4 k
) M0 a5 G4 h! s
例:0 x" T- T. G# F

* s6 [! K4 o& {/ kfront layer :sub/20.54/31.98/93.34/111.67/air      sub/zro2/sio2/zro2/sio2/air
  B1 V: @  D1 I. i$ K& `; I9 F6 f. Z1 K  I# ]5 g" m# I
back layer :air/111.67/93.34/31.98/20.54/sub      air/sio2/zro2/sio2/zro2/sub
9 ?$ [% v8 O" G! A# ?
6 W4 F) h% E, u( ?0 |: ^4 `" v不知道,tfc有这种功能没有,在group里,我没有搞定
7 E# f3 ?$ j2 l3 y/ y/ u! K9 E1 G/ r0 j
万分感激呀
发表于 2009-12-30 11:02:26 | 显示全部楼层
共同学习,希望大家发表发表意见
 楼主| 发表于 2009-12-30 21:21:34 | 显示全部楼层
搞定了,在run-optimize design下设置优化groups,各个对应膜层分别设置为1,2,3等groups,且各膜层optimiz参数设置no,groups的optimized参数设置yes,就可以优化groups的factor,factor的系数乘以膜层厚度就是实际的膜层厚度。

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