怎么样利用电子枪准确的蒸发薄层薄膜？thickness《20nm

5808renusfly · 发表于 2009-12-23 11:44:40

20nm以下的薄膜怎么样提高精确度？ MDC360控制仪，国产zzs900机器蒸发TIO2薄层时，rate=3.5A/S，一般输入20nm以下的厚度后测得的实际厚度都在22nm以上。减少输入值变化很小！请高手指教
请高手具体的指教一下在上述情况下的一般参数，蒸发速率，PID参数，系统取样时间参数！感激不尽！！！！！！

longmin · 发表于 2009-12-23 23:00:52

遮蔽板開關的速度也會影響

liangzhu · 发表于 2009-12-24 05:38:38

你用离子源了吗?

fanyushan · 发表于 2009-12-24 21:43:35

不应该吧，我还做过6nm的呢，

红星 · 发表于 2010-2-11 21:15:23

输入厚度不要输20nm，另外埚板不同位置厚度也不一样，可以往内圈放

gandongdi · 发表于 2010-6-11 23:51:29

路过,学习了

yifeng602 · 发表于 2010-6-15 14:13:26

太昂贵了8uiiiiiiiiiiiiiiiiiiiiiii

sgh920 · 发表于 2014-10-11 06:48:33

luo guo jifen jifen

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