透射光谱法测试双面薄膜的光学参数

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+ o8 c" N2 C) }5 WDetermination of Optical Parameters in Thin Films by Transmittance Spectra
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& f, B3 ^- p1 M+ @$ d由于普通的化学气相沉积法制作高掺Sn的二氧化硅薄膜比较容易产生结晶,而溶胶-凝胶法制备薄膜化学组成比较容易控制,可以制作出掺Sn浓度较大的材料.文章采用了溶胶-凝胶的方法制备出了66mol%和75 mol%两种不同浓度的掺Sn的SiO2薄膜,用浸渍法多次提拉薄膜以增加薄膜的厚度,之后用紫外-可见分光光度计测量了薄膜的透射光谱.之前基于透射光谱的方法计算玻璃基底上薄膜的光学参数都是针对单面薄膜.该文针对浸渍法产生的双面薄膜,建立了相对应的薄膜模型,并分别用包络线法计算出了两种不同薄膜样品的光学参数.计算结果表明两种不同薄膜样品的折射率随着波长的增加而增加,薄膜的厚度都为900 nm左右.
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作 者：王铿贾宏志夏桂珍WANG KengJIA Hong-zhiXIA Gui-zhen 作者单位：王铿,贾宏志,WANG Keng,JIA Hong-zhi(上海理工大学光学与电子信息工程学院,上海,200093)
夏桂珍,XIA Gui-zhen(武警上海政治学院实验室管理中心,上海,200435) 刊 名：光谱学与光谱分析  ISTIC EI SCI PKU 英文刊名：SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS 年，卷(期)：2008 28(11) 分类号：O484.5 关键词：透射光谱法   溶胶-凝胶   二氧化硅薄膜  机标分类号：TB3 O43 机标关键词：透射光谱法测试双面薄膜光学参数Transmittance SpectraThin Films薄膜样品可见分光光度计化学气相沉积法浸渍法计算二氧化硅薄膜制作制备溶胶浓度凝胶法厚度方法薄膜模型 基金项目：国家自然科学基金，上海市重点学科建设课题，上海理工大学大学生创新基金 DOI：10.3964/j.issn.1000-0593(2008)11-2713-04

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