20nm以下的薄膜怎么样提高精确度？

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20nm以下的薄膜怎么样提高精确度？     MDC360控制仪， 国产zzs900机器    一般输入20nm的厚度后 测得的实际厚度都在22nm以上。减少输入值变化很小！请高手指教！

longmin

1.降低蒸鍍速率
4 c: e; }8 ~* @$ }4 T2.調整PID使其反應快
5 Y9 E' n5 E* X7 M. i3.設定系統的最快的取樣時間

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还得再多摸索几次。