反射功率过高怎么办？

zitong

在用ECR Plasma CVD镀膜的时候调试了一个新的工艺，但是反射功率过大，谁知道是怎么回事吗，我知道是匹配不好，试了好多条件，感觉没有方向，有高人指点一下吗？感觉自己理论和实践都不足啊，请不吝指教啊，谢啦。