Ti3O5蒸镀求助！

飞蛾扑火 · 发表于 2009-12-2 17:22:52

求助高手：
我现在想用只有E-GUN和加热源（没有离子源）的设备蒸镀Ti3O5，请问高手们大致的条件是什么啊？
声阻还有密度大家写多少啊？
还有我做了一次试验，温度大概在180度，O2 5SCCM 蒸镀时的真空度大概在2X10-5TORR，请问这个条件可以么？蒸镀出来的折射率暂时还没办法测。
不甚感激！

gds · 发表于 2009-12-2 23:09:38

工艺主要还是靠自己摸索，别人的工艺自己机器有可能不适合

蒸镀出来的折射率暂时还没办法测－可测量光谱曲线，用Macleod计算

fanyushan · 发表于 2009-12-3 14:14:52

估计做出来到时候吸收会严重一些

weimao_liu · 发表于 2009-12-4 00:24:33

此种条件下镀出的膜，吸收有点严重哟。

飞蛾扑火 · 发表于 2009-12-4 13:46:07

非常感谢楼上各位高手，那吸收比较严重主要是什么原因引起的呢？在现有设备条件下该如何改进工艺呢？谢谢了！

damao · 发表于 2009-12-4 14:00:06

很想知道结果，没有离子源能行吗？

weimao_liu · 发表于 2009-12-9 14:53:45

离子源不是万能的，只是有些工艺需要其作为辅助手段，真正的镀制工艺得靠自己去摸索。

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