宽光谱监控法镀制高精度增透膜的研究

gds · 发表于 2009-11-22 00:13:38

[/free]宽光谱监控法镀制高精度增透膜的研究

【英文篇名】 Growth of High Precision Anti-Reflectance Multilayers under Broadband Monitoring and Controlling
【作者中文名】贾秋平; 张喆民; 卢维强; 李小龙;
【作者英文名】 Jia Qiuping1; Zhang Zhemin1; Lu Weiqiang2; Li Xiaolong1 （1.Beijing Aoptek Scientific Co.; Ltd.; Beijing 100070; China; 2.Department of Photoelectricity; School of Information Science and Technology; Beijing Institute of Technology; Beijing 100081; China）;
【作者单位】北京奥博泰科技有限公司; 北京理工大学信息科学技术学院光电工程系;
【文献出处】真空科学与技术学报, Chinese Journal of Vacuum Science and Technology, 编辑部邮箱 2009年 04期
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【关键词】光学薄膜; 宽光谱监控法; 增透膜; 评价函数; 目标曲线;
【英文关键词】 Optical thin-film; Broadband monitoring; Anti-reflectance film; Error function; Object curve;
【摘要】本文介绍了使用宽光谱监控系统镀制增透膜的基本原理和技术特点。给出了针对不同的膜层特性计算评价函数的方法,分别为能量法和特征点法,能量法适合膜层的光学特性对每一个波长点的权重要求都是一样的,特征点法适合于只对膜层光学特性的某几个特定波长的要求较高,并根据膜料光学参数的特性,分别设置权重因子,其它波长忽略不计。用工艺曲线代替理论设计曲线作为目标曲线,解决实际镀制的光谱特性与理论值存在偏差的问题,使评价函数的极小值趋近于零,达到最佳膜厚。这种简单而准确的方法对于提高宽带增透膜镀制精度和成品率有显著的效果,具有实际的应用价值。
【英文摘要】 A novel technique has been successfully developed to improve the evaluation of the merit function of the high precision anti-reflectance(AR)optical films with different layer characteristics,coated under broadband monitoring and controlling on glass substrates.The technique involves two modes:the energy mode assumes that all wavelengths have identical weight in the merit function;and the characteristic wavelength mode narrows sunlight to only a few key wavelengths with specific weights.In the technique,the ...
【DOI】 CNKI:SUN:ZKKX.0.2009-04-025

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蔓痕陌道 · 发表于 2009-11-22 18:32:33

很难吧？不知道

fanyushan · 发表于 2009-11-23 17:27:47

希望物有所值

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