SiO_2薄膜制备的现行方法综述

gds · 发表于 2009-11-22 08:06:51

SiO_2薄膜制备的现行方法综述

【英文篇名】 Review on current methods of SiO_2 thin film preparation
【作者中文名】曾其勇; 郑晓峰;
【作者英文名】 ZENG Qi-yong; Zheng Xiao-feng（School of Quality & Safety Engineering; China Meterage Institute; Hangzhou 310018; China）;
【作者单位】中国计量学院质量与安全工程学院;
【文献出处】真空, Vacuum, 编辑部邮箱 2009年 04期
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊
【关键词】二氧化硅; 薄膜; 制备方法; 综述;
【英文关键词】 SiO2; thin film; preparation process; review;
【摘要】在导电基体上制作薄膜传感器的过程中,需要在基体与薄膜电极之间沉积一层绝缘膜。二氧化硅薄膜具有良好的绝缘性能,并且稳定性好,膜层牢固,长期使用温度可达1000℃以上,应用十分广泛。通常制备SiO2薄膜的现行方法主要有磁控溅射、离子束溅射、化学气相沉积、热氧化法、凝胶-溶胶法等。本文系统阐述了各种方法的基本原理、特点及适用场合,并对这些方法做了比较。
【英文摘要】 In the preparation process of thin film sensor on conductive substrate, it is necessary to deposit a layer of insulating film between the thin film electrode and substrate.In this regard the SiO2 thin films have been widely applying to the sensors of such type because of their excellent insulating property, high stability, high bonding strength and long-time working temperature available to be over 1000℃ .Describes systematically the main existing processes of preparing SiO2 thin films, including magnetron ...
【基金】国家自然科学基金资助项目(50775250)
【DOI】 CNKI:SUN:ZKZK.0.2009-04-020

飞翔鸟 · 发表于 2009-11-25 01:13:57

太好了！我需要！

wamonika · 发表于 2009-11-28 02:07:05

正要学习下，谢谢

swcsc · 发表于 2009-11-28 10:10:51

学习下，谢谢

facri001 · 发表于 2009-11-29 22:16:23

正要学习下，谢谢

xunshu0120 · 发表于 2009-12-18 06:06:09

huixiumei · 发表于 2010-3-7 02:21:34

学习一下

penny_yt · 发表于 2010-3-18 22:30:41

正要学习下，谢谢

1985120 · 发表于 2010-3-18 23:12:14

想看看！谢谢！！！！！

cloud51 · 发表于 2010-3-26 06:02:06

好東西~~~我要~~~THX~~

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